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진공 챔버;적어도 일부가 상기 진공 챔버의 내부를 관통하여 형성되는 냉각 채널;상기 냉각 채널 중 상기 진공 챔버의 내부에 형성되는 부분에 형성되고, 상기 냉각 채널에 부착되는 모세관 유로;상기 모세관 유로의 하부에 배치되어 상기 모세관 유로로 기화되는 금속을 지지하는 금속 지지대; 및상기 모세관 유로의 일측에 구비되어 상기 모세관 유로의 온도를 제어하는 항온조를 포함하고,상기 모세관 유로의 내부에 기본유체가 유막을 형성하고, 상기 기화된 금속이 상기 유막과 함께 상기 모세관 유로를 따라 유동하는 나노유체 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 금속 지지대는 높이가 가변되며, 상기 가변되는 범위는 상기 모세관 유로로부터 10-80cm 인 것을 특징으로 하는 나노유체 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 금속 지지대는 상기 금속을 가열하여 기화시키는 히터에 연결되는 것을 특징으로 하는 나노유체 제조장치
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진공 챔버 내부에 냉각 채널 및 상기 냉각 채널에 부착되어 상기 냉각 채널과 함께 냉각되는 모세관 유로가 형성되는 나노유체 제조장치를 이용한 나노유체 제조방법에 있어서,상기 냉각 채널을 이용하여 상기 모세관 유로를 냉각시키는 단계;상기 진공 챔버 내의 압력을 10-2내지 10-7torr까지 낮추는 단계;기본유체를 응축시켜 상기 모세관 유로 내에 유막을 형성하는 단계;상기 진공 챔버 내부에 배치되는 금속에 500W~1500W의 전원을 인가하여 상기 금속을 기화시키는 단계; 및상기 기화되는 금속이 상기 유막과 함께 모세관 유로를 따라 유동함으로써 나노유체를 형성하는 단계를 포함하는 나노유체 제조방법
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제4항에 있어서, 상기 모세관 유로의 온도를 -10 ~ -40℃로 냉각시키는 것을 특징으로 하는 나노유체 제조방법
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제4항에 있어서,상기 유막을 모세관력을 이용하여 이동시키는 것을 특징으로 하는 나노유체 제조방법
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