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반응가스를 공급하는 가스공급부와, 상기 가스공급부로부터 공급된 가스가 유동하면서 내부에 수용된 피코팅제품가 코팅되는 가스반응로를 포함하는 탄화규소 써멀 화학기상증착장치에 있어서,상기 가스반응로는,내부가 중공으로 형성되는 외부머플과,상기 외부머플의 내부에 수용되고, 상기 제품에 거치되며, 내부를 유동하는 반응가스가 균일한 흐름을 갖도록 하는 가스균일화수단이 설치되는 내부머플과,상기 외부머플의 하부에 위치하여 제품을 지지하는 제품테이블을 포함하고,상기 가스균일화수단은, 상기 외부머플의 상단에 형성된 폐가스 배출구에 이격되게 위치하고, 상기 내부머플의 상부에 설치되며, 복수의 통공이 전체면적에 고르게 형성되는 커버인 것을 특징으로 하는 탄화규소 써멀 화학기상증착장치의 가스반응로
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제1항에 있어서,상기 커버는,상기 상기 내부머플의 상단에 설치되고, 전체면적에 상기 반응가스가 통과하는 상부커버통공이 형성되는 상부커버와,상기 상부커버의 아래에 상기 상부커버와 이격되게 설치되고, 전체면적에 상기 반응가스가 통과하는 하부커버통공이 형성되는 하부커버인 것을 특징으로 하는 탄화규소 써멀 화학기상증착장치의 가스반응로
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제1항에 있어서,상기 내부머플에는,상기 내부머플에 설치되는 링부재와, 상기 링부재로부터 상기 내부머플의 중심을 향하도록 돌출되게 형성되어 피코팅제품의 하단을 지지하는 서포트로 이루어지는 서포트링이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 탄화규소 써멀 화학기상증착장치의 가스반응로
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제4항에 있어서,상기 서포트링은 복수로 마련되고 서로 간격을 두고 상하로 배치되는 것을 특징으로 하는 탄화규소 써멀 화학기상증착장치의 가스반응로
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제5항에 있어서,상기 서포트링에는 또 다른 가스균일화수단이 놓여지는데, 상기 서포트링에 놓여지는 또 다른 가스균일화수단은, 전체면적에 대하여 복수의 가스확산판통공이 형성되는 가스확산판인 것을 특징으로 하는 탄화규소 써멀 화학기상증착장치의 가스반응로
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제6항에 있어서,상기 가스확산판의 상부에 배치되고, 적어도 하나 이상의 디스크형태의 피코팅제품이 놓여지는 제품거치대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄화규소 써멀 화학기상증착장치의 가스반응로
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제1항에 있어서,상기 내부머플은 통형(筒形)으로 형성되고, 서로 분리되는 복수의 튜브(20a, 20b, 20c)가 축방향으로 배치되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 탄화규소 써멀 화학기상증착장치의 가스반응로
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제8항에 있어서,어느 하나의 튜브와, 상기 튜브에 인접하게 배치되는 다른 튜브의 사이에는,상기 튜브의 사이에 위치하는 링부재와, 상기 링부재로부터 상기 링부재의 중심을 향하도록 돌출되게 형성되어 피코팅제품의 하단을 지지하는 서포트로 이루어지는 서포트링이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 탄화규소 써멀 화학기상증착장치의 가스반응로
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제1항에 있어서,상기 외부머플의 외측에는,상기 외부머플을 가열시키는 발열부와,상기 발열부의 외측에 상기 발열부에서 열이 유출되는 것을 저지하는 단열부가 설치되는 것을 특징으로 하는 탄화규소 써멀 화학기상증착장치의 가스반응로
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제1항에 있어서,상기 외부머플과 상기 내부머플은 그라파이트를 재질로 하는 것을 특징으로 하는 탄화규소 써멀 화학기상증착장치의 가스반응로
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제1항에 있어서,상기 테이블에 형성된 소스가스 주입구를 통하여 외부로부터 탄화규소가 포함된 반응가스가 유입되고,상기 내부머플을 통과하면서 피코팅제품과 반응하여 상기 피코팅제품의 표면을 코팅한 후,상기 외부머플의 상단에 형성된 폐가스 배출구로 배출되는 것을 특징으로 하는 탄화규소 써멀 화학기상증착장치의 가스반응로
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