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| 요약 |
본 발명은 실리콘 기판과 유리 기판을 고온에서 양극접합하였을 때 상온 환경에서 발생하는 실리콘/유리 기판 결합체의 휨 현상을 저감시키기 위한 양극접합된 실리콘/유리 기판 결합체의 휨 저감방법에 관한 것으로서,실리콘 기판(11)과 유리 기판(12)을 겹쳐 놓은 후 이들의 상측과 하측에 각각 위치된 기판 홀더(20)에 직류 전압을 인가함으로써 실리콘 기판(11)과 유리 기판(12)이 접합된 실리콘/유리 기판 결합체(10)를 만드는 양극접합공정(S1)과; 상기 실리콘/유리 기판 결합체(10)의 휨이 보정되어야 할 정도인지를 판단하는 단계(S2)와; 상기 실리콘/유리 기판 결합체(10)의 유리 기판 면에 보강용 유리 기판(15)을 추가로 접합하여 유리 기판 부분의 두께를 증대시키는 보강 공정(S3);을 포함하는 것을 특징으로 한다.이에 따라 유리 기판 부분의 두터운 두께에 의해 휨에 대하여 강인한 구조가 형성되어 실리콘/유리 기판 결합체의 휨이 개선됨은 물론 실리콘 기판에 형성된 구조물이 기판의 휨에 의한 응력을 덜 받게 되어 오프셋 전압의 발생 및 수명 저하가 방지된다.
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| Int. CL |
C03B 23/20 (2006.01) C03C 17/02 (2006.01) C03C 27/12 (2006.01) C03C 27/00 (2006.01)
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| CPC |
B32B 17/06(2013.01) B32B 17/06(2013.01) B32B 17/06(2013.01) B32B 17/06(2013.01) B32B 17/06(2013.01)
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| 출원번호/일자 |
1020120041983
(2012.04.23)
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| 출원인 |
국방과학연구소
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| 등록번호/일자 |
10-1331469-0000
(2013.11.14)
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| 공개번호/일자 |
10-2013-0119093
(2013.10.31)
문서열기
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| 공고번호/일자 |
(20131121)
문서열기
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| 국제출원번호/일자 |
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| 국제공개번호/일자 |
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| 우선권정보 |
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| 법적상태 |
소멸 |
| 심사진행상태 |
수리 |
| 심판사항 |
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| 구분 |
신규 |
| 원출원번호/일자 |
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| 관련 출원번호 |
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| 심사청구여부/일자 |
Y
(2012.04.23)
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| 심사청구항수 |
3 |
