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제1광로에 위치하는 중적외선 레이저의 기준면과 파면센서를 광축정렬시키는 장치에 있어서,제2광로로 빔을 발산하는 정렬용 중적외선 레이저와;상기 정렬용 중적외선 레이저의 제2광로에 설치되는 위치센서와, 상기 파면센서로 이루어지는 파면센서부와;상기 중적외선 레이저의 기준면과 광축정렬된 상태에서, 상기 위치센서에 입사되어 상기 파면센서부를 조정하여 광축정렬하는 정렬용 가시광 레이저를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 중적외선 파면센서의 광축정렬 장치
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제 1항에 있어서, 상기 정렬용 중적외선 레이저는, 제1광속확대기와, 제1광로 상에 위치한 제1광속분리기와, 집속기를 통과하여 상기 위치센서에 집속되는 것을 특징으로 하는 파면센서의 광축정렬 장치
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제 2항에 있어서, 상기 집속기는, 반사형 집속기인 것을 특징으로 하는 파면센서의 광축정렬 장치
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제 2항에 있어서, 상기 제1광속분리기와 파면센서 사이에는 광속축소기가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 파면센서의 광축정렬 장치
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제 1항에 있어서, 상기 정렬용 가시광 레이저는, 제2광속확대기와, 상기 제1광로 상에 위치하며, 상기 파면센서측으로 광속을 분리하는 제2광속분리기를 통하여 상기 위치센서에 입사되는 것을 특징으로 하는 파면센서의 광축정렬 장치
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제 1항에 있어서, 상기 파면센서는, 빔이 입사되며, 2차원적으로 배열되는 렌즈부와;상기 렌즈에 의하여 집속된 빔이 입사되는 중적외선 검출기를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 파면센서의 광축정렬 장치
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중적외선 레이저가 발산되는 제1광로 상에 설치되는 광속분리기와;상기 광속분리기를 향하여 빔을 발산하는 제2광로 상에 설치되는 가시광 레이저와;상기 가시광 레이저가 입사되는 위치센서로 구성되어,상기 위치센서를 이용하여 가시광 레이저를 정렬하여 상기 중적외선 레이저의 가시광 지시빔을 이용하여 광축을 정렬하는 것을 특징으로 하는 중적외선 레이저의 광축정렬 장치
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제 7항에 있어서, 상기 가시광 레이저의 빔은 광속확대기와, 상기 광속분리기와, 집속기를 통하여 상기 위치센서에 입사되는 것을 특징으로 하는 중적외선 레이저의 광축정렬 장치
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제 1항의 장치를 이용하여 광축정렬하는 방법에 있어서,상기 정렬용 중적외선 레이저를 이용하여 위치센서와 파면센서를 정렬하는 단계와;상기 중적외선 레이저의 기준면과 광축정렬된 정렬용 가시광 레이저를 상기 파면센서부의 위치센서에 입사시켜 파면센서부를 조정하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 중적외선 파면센서의 광축정렬 방법
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