| 1 |
1
기판과,
상기 기판의 상면에 길이 방향으로 형성된 도파로와,
상기 기판의 하면에 형성된 공간 필터를 포함하여 이루어지며,
상기 공간 필터는 상기 기판의 하면에 형성된 그루브로서 이 그루브를 이루는 표면 중 적어도 바닥면에 비정질 영역 및 마이크로 크랙이 형성된 것을 특징으로 하는 집적 광학 소자
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 그루브는 복수 개 형성되며, 길이 방향으로 상기 기판의 1/4 지점, 1/2 지점, 3/4 지점에 형성된 것을 특징으로 하는 집적 광학 소자
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 그루브의 폭은 최대 500 ㎛이고, 깊이는 상기 기판 두께의 최대 70%인 것을 특징으로 하는 집적 광학 소자
|
| 4 |
4
(가) 집적 광학 소자 기판의 일 면에 그루브 (groove)를 형성하는 단계와,
(나) 상기 그루브를 이루는 표면 중 적어도 바닥면을 레이저 조사에 의해 비정질화시키고 이 비정질화된 표면에 마이크로 크랙을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 집적 광학 소자용 공간 필터의 제조 방법
|
| 5 |
5
제4항에 있어서, 상기 (가) 단계에서 상기 그루브는 다이싱 소우 (dicing saw), 화학적 식각, 다이아몬드 컷팅, 또는 마이크로 머시닝 (micro-machining)에 의하여 형성하는 것을 특징으로 하는 집적 광학 소자용 공간 필터의 제조 방법
|
| 6 |
6
제4항에 있어서, 상기 (나) 단계에서 레이저의 펄스 및 출력을 조절하여 비정질화 및 마이크로 크랙의 양을 조절하는 것을 특징으로 하는 집적 광학 소자용 공간 필터의 제조 방법
|
