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(a) 회전구동장비 위에 측정대상인 전자광학장비를 장착하고 그 전방에 위치한 광학시준기와 초기정렬을 수행하는 단계;(b) 상기 회전구동장비를 제1 기준각만큼 구동시키고, 상기 전자광학장비를 구동시켜서 상기 광학시준기와 정렬시킨 후, 제1 기준각에서의 위치출력오차값을 구하는 단계;(c) 기준각도를 바꾸어 상기 위치출력오차값을 구하는 단계를 적어도 오차 파라미터의 개수만큼 반복하는 단계;(d) 상기 단계들에서 구한 위치출력오차값을 사용하여 위치출력오차의 프로파일 함수로부터 오차 파라미터들의 값을 산출하는 단계;(e) 상기 산출된 파라미터 값으로부터 전 구동범위에 대한 위치출력오차 프로파일을 추정하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자광학장비에 장착된 회전형 각검출기의 위치출력오차 추정방법
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제1항에 있어서,상기 단계 (a)의 초기정렬은 상기 전자광학장비의 각검출기값 및 회전구동장비의 구동각이 0이 되도록 상기 전자광학장비와 상기 회전구동장비를 조정하고 상기 전자광학장비의 영상화면의 중심에 광학시준기의 표적이 오도록 상기 전자광학장비를 미세 구동시키는 것을 특징으로 하는 전자광학장비에 장착된 회전형 각검출기의 위치출력오차 추정방법
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제1항에 있어서,상기 단계 (b)에서 위치출력오차값은 상기 전자광학장비의 각위치와 상기 회전구동장비의 각위치의 차로부터 구하는 것을 특징으로 하는 전자광학장비에 장착된 회전형 각검출기의 위치출력오차 추정방법
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제1항에 있어서,상기 오차 파라미터는 이상적 장착면과 실제 장착면의 교선이 이상적 장착면 좌표계에서의 회전축에 대하여 틀어져 있는 각도(α)와, 이상적 장착면과 실제 장착면이 이루는 각도(β)인 것을 특징으로 하는 전자광학장비에 장착된 회전형 각검출기의 위치출력오차 추정방법
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제1항에 있어서,상기 단계 (e)에서 획득한 전 구동범위에 대한 위치출력오차의 데이터로부터 원하는 구동범위의 실효값(RMS)을 산출하는 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 전자광학장비에 장착된 회전형 각검출기의 위치출력오차 추정방법
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제1항에 있어서,상기 단계 (d)의 위치출력오차의 프로파일 함수(Pe)는, 인 것을 특징으로 하는 전자광학장비에 장착된 회전형 각검출기의 위치출력오차 추정방법
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