| 1 |
1
기체를 압축하여 공급하는 압축수단과;유로 면적을 조절하여 상기 압축수단으로부터 공급되는 기체의 유량을 조절하는 유량조절수단과;상기 압축수단으로부터 상기 유량조절수단을 거쳐 공급된 기체를 단열팽창시켜 기체의 온도를 하강시키는 냉각수단과;상기 냉각수단으로부터 공급된 저온의 기체를 이용하여 내부의 온도를 조절하는 온도조절 대상공간과;상기 유량조절수단의 출구부 및 상기 온도조절 대상공간에 각각 설치되어 기체의 온도를 측정하는 온도측정수단과;상기 온도측정수단에 의해 측정된 온도 정보에 따라 상기 유량조절수단을 제어하는 제어수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기체온도 정밀 조절장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 냉각수단은, 상기 유량조절수단으로부터 공급된 기체의 팽창에 따라 구동되는 터빈과, 상기 터빈에 의해 작동되어 상기 온도조절 대상공간 내의 기체를 배기시키는 배기부재와, 상기 터빈과 배기부재를 연결하는 연결축 및 상기 연결축을 지지하는 베어링을 포함하는 것을 특징으로 하는 기체온도 정밀 조절장치
|
| 3 |
3
제2항에 있어서,상기 배기부재는, 상기 터빈에 의해 작동되는 압축기 또는 송풍팬 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 기체온도 정밀 조절장치
|
| 4 |
4
제2항에 있어서,상기 배기부재에 의해 배기되는 저온의 기체를 회수하는 배기공간이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 기체온도 정밀 조절장치
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 유량조절수단은, 상기 압축수단과 냉각수단을 연결하는 관로에 설치되고 내부통로가 형성된 몸체부와, 상기 몸체부 내부에 회전가능하게 설치되어 회전각도에 따라 유로면적이 변화되도록 하는 유량조절판과, 상기 몸체부의 외측에 설치되고 상기 제어수단의 제어 신호에 따라 상기 유량조절판의 회전각도를 변화시키는 구동부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기체온도 정밀 조절장치
|
| 6 |
6
제5항에 있어서,상기 유량조절판은, 0 ~ 90도 범위에서 회전되는 것을 특징으로 하는 기체 온도 정밀 조절장치
|
