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액상 전도체를 수용하며, 상기 액상 전도체의 이동을 가이드하도록 형성되는 가이드부;
상기 가이드부를 가로지르도록 형성되는 복수의 전기 경로들을 구비하고, 상기 전기 경로들은 각각 상기 가이드부에서 서로 단절되며, 상기 전기 경로들 중 적어도 하나는 상기 액상 전도체에 의하여 전기적으로 연결되도록 형성되는 전기 배선부; 및
상기 전기 배선부와 연결되고, 상기 전기적으로 연결되는 전기 경로의 변화를 이용하여 상기 액상 전도체의 이동을 검출하는 검출부를 포함하는 액상 전도체의 이동 감지장치
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제1항에 있어서,
상기 가이드부는,
감지장치 본체의 일면에서 리세스되어 상기 가이드부의 가이드 공간을 형성하는 리세스부; 및
상기 리세스부의 개구를 막도록 상기 본체의 일면을 덮는 커버부를 포함하는 액상 전도체의 이동 감지장치
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제2항에 있어서,
상기 전기 경로들은 상기 커버부에서 서로 평행하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 액상 전도체의 이동 감지장치
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4
제2항에 있어서,
상기 리세스부를 한정하는 면들은 비젖음 표면으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액상 전도체의 이동 감지장치
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5
제2항에 있어서,
상기 리세스부를 한정하는 면은 요철면을 이루는 것을 특징으로 하는 액상 전도체의 이동 감지장치
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6
제1항에 있어서,
상기 가이드부는 중앙에서 서로 반대되는 양 방향으로 각각 연장되고, 상기 중앙으로부터 상기 양 방향으로 폭이 점차적으로 좁아지는 것을 특징으로 하는 액상 전도체의 이동 감지장치
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7
제6항에 있어서,
상기 검출부는,
상기 전기적으로 연결되는 전기 경로를 이용하여 상기 액상 전도체의 상기 중앙에 대한 상대 위치를 산출하고, 상기 상대 위치로부터 상기 액상 전도체에 가해지는 관성력 또는 감지장치 본체의 가속도를 산출하는 것을 특징으로 하는 액상 전도체의 이동 감지장치
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8
제1항에 있어서,
상기 액상 전도체는 액체금속 액적(liquid metal droplet)인 것을 특징으로 하는 액상 전도체의 이동 감지장치
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9
액상 전도체의 이동 감지장치; 및
상기 이동 감지장치와 연결되어, 상기 액상 전도체의 이동을 이용하여 가속도를 산출하는 가속도 산출부를 포함하고,
상기 이동 감지장치는,
액상 전도체를 수용하며, 상기 액상 전도체의 이동을 가이드하도록 형성되는 가이드부;
상기 가이드부를 가로지르도록 형성되는 복수의 전기 경로들을 구비하고, 상기 전기 경로들은 각각 상기 가이드부에서 서로 단절되며, 상기 전기 경로들 중 적어도 하나는 상기 액상 전도체에 의하여 전기적으로 연결되도록 형성되는 전기 배선부; 및
상기 전기 배선부와 연결되고, 상기 전기적으로 연결되는 전기 경로의 변화를 이용하여 상기 액상 전도체의 이동을 검출하는 검출부를 포함하는 가속도계
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10
제9항에 있어서,
상기 전기 경로들은 기설정된 간격으로 서로 이격 배치되고,
상기 기설정된 간격에 의하여 감지 가능한 가속도의 최소변화가 설정되는 것을 특징으로 하는 가속도계
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11
마스킹되지 않는 부분이 패턴을 형성하도록 감광유리의 적어도 일부를 마스킹하는 단계;
상기 패턴이 광에 노출되도록 상기 감광유리에 광을 조사하는 단계;
상기 패턴이 상기 감광유리의 내부로 리세스되도록 상기 감광유리를 식각하는 단계;
상기 리세스된 부분을 따라 액상 전도체가 이동하도록 상기 리세스된 부분에 액상 전도체를 주입하는 단계; 및
서로 단절되는 복수의 전기 경로를 구비하는 커버를 이용하여 상기 리세스된 부분을 덮는 단계를 포함하는 액상 전도체의 이동 감지장치 제조 방법
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제11항에 있어서,
상기 광에 노출된 패턴의 물리적 성질을 변경시키도록 상기 감광유리를 열처리하는 단계를 더 포함하는 액상 전도체의 이동 감지장치 제조 방법
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