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기판의 상면에 적층된 자기장 인가 층, 상기 자기장 인가 층 상면에 적층되어 상기 자기장 인가 층을 통해 자화되는 자기 광학 층 및 상기 자기 광학 층 상면에 적층되어 상기 자기 광학 층을 보호하는 보호층으로 이루어진 적층구조를 준비하는 단계;상기 적층구조로 입사되는 광의 진행 방향과 상기 자기 광학 층의 자화방향의 기하학적 배치에 의해 설정되는 극방향, 종방향 및 횡방향 자기 광학적 배치 중 어느 하나를 통해 상기 자기 광학 층에 자기장을 인가하는 단계; 및 상기 자기 광학 층에 형성된 광 도파로의 일부에 선택적으로 자화영역을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기광학소자의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 자기장 인가 층은상기 자기 광학 층 하면에 적층된 자석층; 및,상기 자석층 하면에 적층된 연자성 층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기광학소자의 제조방법
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제 2 항에 있어서, 상기 극방향 자기 광학적 배치는 상기 적층구조를 향해 입사되는 광의 진행 방향과 자화 방향이 서로 수직하며, 자화 방향은 자기 이방성 물질에 의해 상기 자기 광학 층의 평면에 수직한 것을 특징으로 하는 자기광학소자의 제조방법
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제 3 항에 있어서, 상기 자기 이방성 물질은 Cr합금인 것을 특징으로 하는 자기광학소자의 제조방법
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제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 연자성 층은 NiFe인 것을 특징으로 하는 자기광학소자의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 자기장 인가 층은상기 자기 광학 층 하면에 적층된 자석 층;상기 자석 층에 적층된 비자성 층; 및상기 비자성 층 하면에 적층된 자화 안정 층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기광학소자의 제조방법
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제 6 항에 있어서, 상기 종방향 자기 광학적 배치는 상기 적층구조를 향해 입사되는 광의 진행 방향과 자화 방향이 서로 평행하며, 자화 방향은 상기 자기 광학 층의 평면에 평행한 것을 특징으로 하는 자기광학소자의 제조방법
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제 6 항에 있어서, 상기 횡방향 자기 광학적 배치는 상기 적층구조를 향해 입사되는 광의 진행 방향과 자화 방향이 서로 수직하고, 자화방향은 상기 자기 광학 층의 평면에 평행한 것을 특징으로 하는 자기광학소자의 제조방법
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제 6 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 자석 층은 CoPtCrB 인 것을 특징으로 하는 자기광학소자의 제조방법
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제 6 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 비자성 층은 Ru 인 것을 특징으로 하는 자기광학소자의 제조방법
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제 7 항 또는 제 8 항에 있어서, 상기 비자성 층은상기 비자성 층의 두께를 조절하여 자석층과 자화 안정 층의 자화방향이 서로 반대 방향이 되는 구조로 이룸으로써, 상기 자석 층의 용이한 자화 반전 및 열적 안정성을 향상시키고 상기 자석 층의 자화로 인해 상기 자기 광학 층의 정밀한 자화를 유도하는 것을 특징으로 하는 자기광학소자의 제조방법
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제 7 항 또는 제 8 항에 있어서, 상기 자석 층은상기 자석 층의 길이 및 폭을 조절하여 상기 자석 층의 모양에 의해 발생할 수 있는 자기 이방성을 해소하고, 상기 자기 광학 층을 자화 시키는 것을 특징으로하는 자기광학소자의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 광 도파로의 자화영역은 하단이 상부에 비해 좁게 형성된 전자석 팁에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 자기광학소자의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 광 도파로에 자화영역을 형성하는 단계에서,상기 적층구조를 향해 입사되는 광의 편광 회전각을 이용하여 상기 광 도파로 일부를 선택적으로 자화시켜 광의 편광 회전각을 유발시키며, 상기 편광 회전 각은 광 도파로의 자화된 자화영역의 길이에 비례하는 것을 특징으로 하는 자기광학소자의 제조방법
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제 14 항에 있어서, 상기 편광 회전각은 45°인 것을 특징으로 하는 자기광학소자의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 광 도파로는 중앙이 분기되는 한쌍으로 이루어지며, 상기 한쌍의 광 도파로에 선택적으로 자화영역을 형성하는 단계에서,상기 적층구조를 향해 입사되는 광의 수평 모드와 수직 모드(전계기준)의 비가역적 위상 변위를 통해, 상기 한쌍의 암을 지나는 광의 위상차에 따른 출력광의 세기를 조절하여 미세한 자화 반전 영역을 조절하여 광의 위상차에 따른 출력광의 세기를 조절하는 것을 특징으로 하는 자기광학소자의 제조방법
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기판의 상면에 적층된 자기장 인가 층;상기 자기장 인가 층 상면에 적층되어 상기 자기장 인가 층을 통해 자화되는 자기 광학 층; 및상기 자기 광학 층 상면에 적층되어 상기 자기 광학 층을 보호하는 보호층;으로 이루어지며,상기 적층된 구도를 향해 입사되는 광의 진행 방향과 상기 자기 광학 층의 자화방향의 기하학적 배치에 의해 설정되는 극방향, 종방향 및 횡방향 자기 광학적 배치 중 어느 하나를 통해 상기 자기 광학 층에 자기장이 인가되고, 상기 자기 광학 층에 형성된 광 도파로의 일부에 선택적으로 자화영역이 형성된 것을 특징으로 하는 자기광학소자
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제 17 항에 있어서, 상기 자기장 인가 층은상기 자기 광학 층 하면에 적층된 자석층; 및,상기 자석층 하면에 적층된 연자성 층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기광학소자
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제 17 항에 있어서, 상기 자기장 인가 층은상기 자기 광학 층 하면에 적층된 자석 층;상기 자석 층에 적층된 비자성 층; 및상기 비자성 층 하면에 적층된 자화 안정 층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기광학소자
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