맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

탄성에너지를 고려한 자기변형계수 측정용 캔틸레버 구조해석 방법

  • 기술번호 : KST2015157449
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 멤스(MEMS) 기술로 캔틸레버 구조를 생성한 것으로, 탄성에너지를 고려한 자기변형계수를 구하기 위해 자기변형 박막의 자기변형계수의 측정을 위한 것이다. 자기변형 박막의 정확한 자기변형계수 측정은 자기변형현상을 응용하는 MEMS 작동기의 설계에 있어 매우 중요하다. 자기변형계수는 측정하고자 하는 자기변형 박막이 증착된 캔틸레버의 횡 방향 변위를 측정함으로써 측정할 수 있는데 이것은 캔틸레버의 횡 방향 변위가 자기변형계수에 선형적으로 의존하기 때문이다. 이에 본 발명은 자기변형 박막에 대해 자기변형 박막의 탄성에너지가 고려된 이론식을 적용하여 자기변형계수를 계산하고, 오차범위를 줄일 수 있는 Tb-Fe film 과 Sm-Fe film을 사용하는 캔틸레버를 제작하는 방법을 고안하였다. MEMS(Micro Electro Mechanical System), 캔틸레버, 자기변형계수, 탄성에너지.
Int. CL B81B 3/00 (2006.01) B81C 3/00 (2006.01)
CPC B81B 3/0018(2013.01) B81B 3/0018(2013.01) B81B 3/0018(2013.01) B81B 3/0018(2013.01)
출원번호/일자 1020070128756 (2007.12.12)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2009-0061805 (2009.06.17) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 1

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 원태영 대한민국 경기도 화성시
2 조범구 대한민국 인천광역시 계양구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
대리인 정보가 없습니다

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.12.12 수리 (Accepted) 1-1-2007-0892041-38
2 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status		 2008.01.08 수리 (Accepted) 1-1-2008-5001069-25
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.03.07 수리 (Accepted) 4-1-2008-0003929-31
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2008-5093865-89
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.11.17 수리 (Accepted) 4-1-2009-5220324-82
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
캔틸레버 자기변형박막의 수치 해석 방법에 있어서, (a) 중간층에 Polymide 기판을 두고 상기 리소그래피 공정을 통해 트렌치가 형성될 위치를 정의하는 마스크 패턴을 형성하는 단계; (b) 상기 마스크 패턴을 마스크로 해서 식각하고, 이어서 노출되는 Polymide 기판을 50um 의 깊이로 노출될 때까지 식각해서 트렌치를 형성하는 단계; (c) 상기 단계 (b)에서 형성된 트렌치에 대해서 Polymide 표면이 트렌치 바닥면에 노출되도록 트렌치의 측벽에 스페이서를 형성하는 단계; (d) 상기 노출된 Polymide 기판에 선택적 에피층 성장 방식으로 반도체막을 형성해서 상기 트렌치를 채워 넣는 단계; 및 (e) 상기 Polymide 기판의 TbDyFe 박막을 형성하는 단계 를 포함하는 캔틸레버 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.