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증착 챔버 분리형 펄스 레이저 증착 장치

  • 기술번호 : KST2015157500
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 증착 챔버 분리형 펄스 레이저 증착 장치가 개시된다. 개시되는 증착 챔버 분리형 펄스 레이저 증착 장치는 펄스 레이저 발생기; 플라즈마 생성 챔버; 상기 플라즈마 생성 챔버와 독립된 공간을 이루고, 내부에 배치된 기판에 상기 플라즈마 생성 챔버에서 생성된 활성종이 증착되는 공간을 제공하는 증착 챔버; 및 펌프;를 포함한다. 개시되는 증착 챔버 분리형 펄스 레이저 증착 장치에 의하면, 증착 챔버와 플라즈마 생성 챔버가 독립된 공간을 이룸으로써, 증착 챔버와 플라즈마 생성 챔버를 각각 독립적으로 제어할 수 있고, 박막 형성시 분위기 가스 종류를 가변시키는 등 다양한 파라미터(parameter)를 가변시킬 수 있으며, 그러한 분위기 가스의 압력을 개별적으로 제어할 수 있다. 따라서, 고순도의 박막 및 나노로드를 제조할 수 있고, P형 ZnO의 제조 용이성 및 재현성을 높일 수 있으며, 증착율을 향상시키면서도 대면적화가 가능해질 수 있는 장점이 있다. 펄스 레이저 증착, 플라즈마 생성 챔버, 증착 챔버, 챔버 분리
Int. CL C23C 14/00 (2011.01) C23C 14/08 (2011.01) C23C 14/34 (2011.01)
CPC C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01)
출원번호/일자 1020080112691 (2008.11.13)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2010-0053862 (2010.05.24) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.11.13)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신백균 대한민국 인천광역시 남구
2 박동화 대한민국 인천광역시 남구
3 박상무 대한민국 인천광역시 남구
4 이붕주 대한민국 충청남도 천안시
5 임재성 대한민국 인천광역시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이오식 대한민국 경기도 화성시 동탄대로 ***, ***호(영천동, SH타임스퀘어Ⅰ)(아이엔비국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.11.13 수리 (Accepted) 1-1-2008-0784874-22
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.10.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.11.12 수리 (Accepted) 9-1-2009-0062067-57
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.17 수리 (Accepted) 4-1-2009-5220324-82
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.11.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0540124-58
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.01.26 수리 (Accepted) 1-1-2011-0064342-50
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.02.25 수리 (Accepted) 1-1-2011-0140901-34
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2011.04.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0226909-39
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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펄스 레이저를 이용하여 증착 대상인 기판에 대한 증착을 수행하는 증착 챔버 분리형 펄스 레이저 증착 장치에 있어서, 상기 펄스 레이저를 발생하는 레이저 발생기; 내부에 배치된 타겟에 상기 레이저 발생기에서 발생된 펄스 레이저가 조사되어, 활성종이 생성되는 공간을 제공하는 플라즈마 생성 챔버; 상기 플라즈마 생성 챔버와 독립된 공간을 이루고, 내부에 배치된 상기 기판에 상기 플라즈마 생성 챔버에서 생성된 활성종이 증착되는 공간을 제공하는 증착 챔버; 및 상기 플라즈마 생성 챔버에서 생성된 상기 활성종이 상기 증착 챔버 내의 상기 기판으로 이동될 수 있도록 압력을 형성하는 펌프;를 포함하는 증착 챔버 분리형 펄스 레이저 증착 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 증착 챔버의 일부는 상기 플라즈마 생성 챔버 내로 삽입되고, 상기 삽입된 증착 챔버 부분에는 상기 플라즈마 생성 챔버 내의 상기 활성종이 유입되는 플라즈마 유입구가 형성된 것을 특징으로 하는 증착 챔버 분리형 펄스 레이저 증착 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 타겟, 상기 플라즈마 유입구 및 상기 기판은 동일 선상에 배치된 것을 특징으로 하는 증착 챔버 분리형 펄스 레이저 증착 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.