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트랜지스터와 그 제조방법 및 트랜지스터를 포함하는 전자소자

  • 기술번호 : KST2015157647
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 트랜지스터와 그 제조방법 및 트랜지스터를 포함하는 전자소자에 관해 개시되어 있다. 개시된 트랜지스터는 채널층의 적어도 일부를 둘러싸는 광차단 부재를 포함할 수 있다. 상기 광차단 부재는 트랜지스터의 측방에서 채널층으로 입사하는 빛(즉, 측면 입사광)을 차단하도록 디자인될 수 있다. 상기 광차단 부재는 상기 채널층 외측의 게이트절연층 내에 구비될 수 있다. 상기 광차단 부재는 소오스/드레인에 연결되거나, 게이트에 연결된 구조를 가질 수 있다. 상기 광차단 부재는 소오스/드레인 및 게이트로부터 분리된 구조를 가질 수도 있다. 상기 광차단 부재는 채널층을 완전히 둘러싸는 구조를 가질 수 있다.
Int. CL H01L 29/786 (2006.01)
CPC H01L 29/78633(2013.01) H01L 29/78633(2013.01) H01L 29/78633(2013.01)
출원번호/일자 1020100140551 (2010.12.31)
출원인 삼성전자주식회사, 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0078293 (2012.07.10) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 29

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 삼성전자주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 류명관 대한민국 경기도 용인시 수지구
2 정재경 대한민국 인천광역시 남구
3 이상윤 대한민국 서울특별시 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.12.31 수리 (Accepted) 1-1-2010-0880969-49
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.21 수리 (Accepted) 4-1-2012-5132663-40
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 구비된 게이트; 상기 게이트를 덮도록 구비된 게이트절연층; 상기 게이트절연층 상에 구비된 채널층; 상기 채널층의 제1 및 제2 영역에 각각 연결된 소오스 및 드레인; 그리고 측면 입사광(lateral incident light)을 차단하기 위한 것으로, 상기 채널층의 적어도 일부를 둘러싸는 구조를 갖는 광차단 부재;를 포함하는 트랜지스터
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 광차단 부재는 상기 채널층 주위의 상기 게이트절연층 내에 구비된 트랜지스터
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 광차단 부재는 상기 소오스 및 드레인에 연결된 트랜지스터
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 광차단 부재는, 상기 소오스의 하면에 접촉된 제1 부재; 및 상기 드레인의 하면에 접촉된 제2 부재;를 포함하는 트랜지스터
5 5
제 3 항에 있어서, 상기 소오스는 상기 채널층의 일단에 접촉하면서 그에 인접한 게이트절연층 영역으로 확장된 구조를 갖고, 상기 드레인은 상기 채널층의 타단에 접촉하면서 그에 인접한 게이트절연층 영역으로 확장된 구조를 가지며, 상기 광차단 부재는 상기 소오스의 확장부 하면에 접촉된 제1 부재; 및 상기 제1 부재와 이격된 것으로 상기 드레인의 확장부 하면에 접촉된 제2 부재;를 포함하는 트랜지스터
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 제1 부재는 상기 채널층의 일단에 대응하는 제1 측면을 가리는 제1 부분 및 상기 제1 부분의 일단으로부터 상기 채널층의 다른 일부를 가리도록 연장된 제2 부분을 포함하고, 상기 제2 부재는 상기 채널층의 타단에 대응하는 제2 측면을 가리는 제1 부분 및 상기 제1 부분의 일단으로부터 상기 채널층의 다른 일부를 가리도록 연장된 제2 부분을 포함하며, 상기 제1 부재의 제2 부분과 상기 제2 부재의 제2 부분은 상기 채널층의 서로 다른 쪽에 배치된 트랜지스터
7 7
제 5 항에 있어서, 상기 제1 부재는 상기 채널층의 일단에 대응하는 제1 측면을 가리는 제1 부분 및 상기 제1 부분의 양단으로부터 상기 채널층의 다른 일부를 가리도록 연장된 제2 부분을 포함하고, 상기 제2 부재는 상기 채널층의 타단에 대응하는 제2 측면을 가리는 제1 부분 및 상기 제1 부분의 양단으로부터 상기 채널층의 다른 일부를 가리도록 연장된 제2 부분을 포함하며, 상기 제1 부재의 제2 부분과 상기 제2 부재의 제2 부분은 서로 이격된 트랜지스터
8 8
제 5 항에 있어서, 상기 게이트는 상기 제1 부재와 상기 제2 부재 사이로 연장된 구조를 갖는 트랜지스터
9 9
제 1 항에 있어서, 상기 광차단 부재는 상기 소오스 및 드레인으로부터 분리된 트랜지스터
10 10
제 9 항에 있어서, 상기 광차단 부재의 헤드부는 상기 소오스 및 드레인과 동일 레벨에 구비된 트랜지스터
11 11
제 9 항에 있어서, 상기 광차단 부재의 헤드부는 상기 소오스 및 드레인과 다른 레벨에 구비된 트랜지스터
12 12
제 9 항에 있어서, 상기 광차단 부재는 상기 게이트로부터 분리된 트랜지스터
13 13
제 9 항에 있어서, 상기 광차단 부재는 상기 게이트에 연결된 트랜지스터
14 14
제 1 항에 있어서, 상기 게이트절연층 상에 상기 채널층을 덮는 층간절연층이 더 구비되고, 상기 광차단 부재는 상기 층간절연층과 상기 게이트절연층 내에 구비되는 트랜지스터
15 15
제 14 항에 있어서, 상기 광차단 부재는 상기 층간절연층 위로 돌출된 구조를 갖는 트랜지스터
16 16
제 14 항에 있어서, 상기 소오스 및 드레인은 상기 층간절연층 상에 구비되고, 상기 층간절연층 내에 상기 소오스와 상기 채널층을 연결하는 제1 플러그 및 상기 드레인과 상기 채널층을 연결하는 제2 플러그가 더 구비되는 트랜지스터
17 17
제 14 항에 있어서, 상기 광차단 부재는 상기 소오스 및 드레인으로부터 분리된 트랜지스터
18 18
제 14 항에 있어서, 상기 광차단 부재는 서로 이격된 제1 및 제2 부재를 포함하고, 상기 제1 부재는 상기 채널층의 일단에 대응하는 제1 측면을 가리는 제1 부분 및 상기 제1 부분의 일단으로부터 상기 채널층의 다른 일부를 가리도록 연장된 제2 부분을 포함하고, 상기 제2 부재는 상기 채널층의 타단에 대응하는 제2 측면을 가리는 제1 부분 및 상기 제1 부분의 일단으로부터 상기 채널층의 다른 일부를 가리도록 연장된 제2 부분을 포함하며, 상기 제1 부재의 제2 부분과 상기 제2 부재의 제2 부분은 상기 채널층의 서로 다른 쪽에 배치된 트랜지스터
19 19
제 18 항에 있어서, 상기 소오스 및 드레인 중 적어도 하나는 상기 제1 부재와 상기 제2 부재 사이로 연장된 구조를 갖는 트랜지스터
20 20
제 18 항에 있어서, 상기 게이트는 상기 제1 부재와 상기 제2 부재 사이로 연장된 구조를 갖는 트랜지스터
21 21
제 1 항에 있어서, 상기 광차단 부재는 상기 채널층 전체를 둘러싸는 구조를 갖는 트랜지스터
22 22
제 21 항에 있어서, 상기 광차단 부재는 상기 게이트에 접촉되고, 상기 소오스 및 드레인으로부터는 분리된 트랜지스터
23 23
제 21 항에 있어서, 상기 게이트는 상기 채널층보다 넓은 폭을 갖고, 상기 광차단 부재는 상기 게이트의 가장자리에 접촉하면서 상기 채널층을 둘러싸는 구조를 갖는 트랜지스터
24 24
제 21 항에 있어서, 상기 게이트절연층은 제1 게이트절연층이고, 상기 제1 게이트절연층 상에 상기 광차단 부재를 덮는 제2 게이트절연층이 더 구비되며, 상기 채널층, 소오스 및 드레인은 상기 제2 게이트절연층 상에 구비되는 트랜지스터
25 25
제 1 항에 있어서, 상기 채널층은 산화물 반도체를 포함하는 트랜지스터
26 26
제 1 항에 있어서, 상기 채널층은 비산화물 반도체를 포함하는 트랜지스터
27 27
제 1 항에 있어서, 상기 게이트는 불투명한 물질로 형성된 트랜지스터
28 28
청구항 1에 기재된 트랜지스터를 포함하는 평판표시장치
29 29
제 28 항에 있어서, 상기 트랜지스터는 스위칭소자 또는 구동소자로 사용되는 평판표시장치
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US20120168756 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2012168756 US 미국 DOCDBFAMILY
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