1 |
1
탄소나노튜브의 제조를 위한 원료가스 및 이송가스의 혼합비율을 조절하는 단계(단계 1); 및화학기상증착 장치 내부에 금속유기구조체(metal-organic frameworks)를 장입한 후 상기 단계 1에서 조절된 혼합가스를 공급하고 화학기상증착법을 이용하여 탄소나노튜브를 성장시키는 단계(단계 2)를 포함하는 금속유기구조체를 이용한 다중벽 탄소나노튜브 또는 탄소나노섬유의 제조방법
|
2 |
2
제1항에 있어서, 상기 단계 1의 원료가스는 아세틸렌 또는 에틸렌인 것을 특징으로 하는 금속유기구조체를 이용한 다중벽 탄소나노튜브 또는 탄소나노섬유의 제조방법
|
3 |
3
제1항에 있어서, 상기 단계 1의 이송가스는 아르곤 가스인 것을 특징으로 하는 금속유기구조체를 이용한 다중벽 탄소나노튜브 또는 탄소나노섬유의 제조방법
|
4 |
4
제1항에 있어서, 상기 단계 1의 원료가스는 50 내지 150 ml/min의 유량으로 공급되는 것을 특징으로 하는 금속유기구조체를 이용한 다중벽 탄소나노튜브 또는 탄소나노섬유의 제조방법
|
5 |
5
제1항에 있어서, 상기 단계 1의 원료가스와 이송가스의 혼합비율은 1 : 14 부피비인 것을 특징으로 하는 금속유기구조체를 이용한 다중벽 탄소나노튜브 또는 탄소나노섬유의 제조방법
|
6 |
6
제1항에 있어서, 상기 단계 1에서 조절된 혼합가스는 수소가스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속유기구조체를 이용한 다중벽 탄소나노튜브 또는 탄소나노섬유의 제조방법
|
7 |
7
제5항에 있어서, 상기 수소가스는 원료가스에 대하여 1 : 5의 부피비로 포함되는 것을 특징으로 하는 금속유기구조체를 이용한 다중벽 탄소나노튜브 또는 탄소나노섬유의 제조방법
|
8 |
8
제1항에 있어서, 상기 단계 2의 금속유기구조체는 철, 니켈 또는 코발트를 포함하는 금속유기구조체인 것을 특징으로 하는 금속유기구조체를 이용한 다중벽 탄소나노튜브 또는 탄소나노섬유의 제조방법
|
9 |
9
제1항에 있어서, 상기 단계 2의 금속유기구조체는 철-벤젠트리카르복실레이트(Iron 1,3,5-benzenetricarboxylate)인 것을 특징으로 하는 금속유기구조체를 이용한 다중벽 탄소나노튜브 또는 탄소나노섬유의 제조방법
|
10 |
10
제1항에 있어서, 상기 단계 2의 금속유기구조체는 금속유기구조체에 대하여 10 내지 30 중량%인 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속유기구조체를 이용한 다중벽 탄소나노튜브 또는 탄소나노섬유의 제조방법
|
11 |
11
제1항에 있어서, 상기 단계 2의 화학기상증착은 600 내지 900 ℃의 온도에서 30 내지 60 분간 수행되는 것을 특징으로 하는 금속유기구조체를 이용한 다중벽 탄소나노튜브 또는 탄소나노섬유의 제조방법
|
12 |
12
제1항에 있어서, 상기 단계 2에서 성장된 탄소나노튜브를 열처리, 산처리, 또는 열처리 및 산처리하여 미반응 금속유기구조체와 무정형 탄소를 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속유기구조체를 이용한 다중벽 탄소나노튜브 또는 탄소나노섬유의 제조방법
|
13 |
13
제12항에 있어서, 상기 열처리는 450 내지 500 ℃의 온도에서 10 내지 30 분간 수행되는 것을 특징으로 하는 금속유기구조체를 이용한 다중벽 탄소나노튜브 또는 탄소나노섬유의 제조방법
|
14 |
14
제12항에 있어서, 상기 산처리는 불산을 이용하여 12 내지 24 시간 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 금속유기구조체를 촉매로 이용한 다중벽 탄소나노튜브 또는 탄소나노섬유의 제조방법
|
15 |
15
금속유기구조체를 촉매로 이용하는 화학기상증착법에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브
|