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압전체인 ZnO 나노선이 외부로부터 전계를 인가받아 형태 변형에 따른 진동을 발생시키는 다수의 압전체를 구비한 나노선 제너레이터 분석 장치; 및상기 나노선 제너레이터 분석장치로부터 발생된 진동에 따른 기전력을 생성하는 나노선 제너레이터를 포함하며,상기 기전력(예컨대, 정공의 흐름양)은 상기 나노선 제너레이터 분석장치로 출력되며, 상기 기전력(예컨대, 전자의 흐름양)은 상기 나노선 제너레이터를 통해 출력되는 것을 특징으로 하는 나노선 제너레이터를 이용한 기전력 측정 시스템
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외부로부터 전원전압을 인가받아 구동되는 나노선 제너레이터 분석장치를 통해 나노선 제너레이터 내의 다수의 나노선들을 진동시켜 기전력을 생성하는 단계;상기 나노선 제너레이터로부터 발생되는 기전력(예컨대, 정공의 흐름양)을 상기 나노선 제너레이터 분석 장치로 출력하는 단계;상기 나노선 제너레이터로부터 발생되는 기전력(예컨대, 전자의 흐름양)을 상기 나노선 제너레이터에 증착된 전극박막을 통해 출력하는 단계; 및 상기 나노선 제너레이터 및 상기 나노선 제너레이터 분석장치로부터 출력되는 전자정공 쌍의 흐름양을 측정하여 상기 나노선 제너레이터 내에 구비된 나노선의 압전특성을 분석하는 단계를 포함하는 나노선 제너레이터를 이용한 기전력 측정 방법
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제1항에 있어서,상기 나노선 제너레이터는,압전체를 포함하며, 상기 압전체는 나노선인 것을 특징으로 하는 나노선 제너레이터를 이용한 기전력 측정 시스템
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제3항에 있어서,상기 나노선 제너레이터는,씨드 박막을 구비하며, 상기 씨드 박막은 알루미늄이 도핑된 산화 아연(AZO)물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 나노선 제너레이터를 이용한 기전력 측정 시스템
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제1항에 있어서,상기 나노선 제너레이터 분석장치는,압전체를 포함하며, 상기 압전체는 나노선인 것을 특징으로 하는 나노선 제너레이터를 이용한 기전력 측정 시스템
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제5항에 있어서,상기 나노선 제너레이터 분석장치는,씨드 박막을 구비하며, 상기 씨드 박막은 알루미늄이 도핑된 산화 아연(AZO)물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 나노선 제너레이터를 이용한 기전력 측정 시스템
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제5항에 있어서,상기 나노선 제너레이터 분석 장치는,상기 압전체 상부에 절연성 박막이 증착되며, 상기 절연성 박막은 Al2O3, SiN, HfO, SiO, BaTiO3 중 어느 하나의 재질인 것을 특징으로 하는 나노선 제너레이터를 이용한 기전력 측정 시스템
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제7항에 있어서,상기 나노선 제너레이터 분석 장치는,상기 절연성 박막 상에 전도성 박막이 형성되며, 상기 전도성 박막은 금(Au)을 함유하는 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 나노선 제너레이터를 이용한 기전력 측정 시스템
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