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반강자성층;상기 반강자성층 상에 배치되고 타원 기둥 형상을 가지는 기준층; 상기 기준층 상에 배치된 절연층; 및상기 절연층 상에 배치된 자유층을 포함하고,상기 기준층은:상기 반강자성층 상에 배치된 제1 강자성층;상기 제1 강자성층 상에 배치된 비자성층; 및상기 비자성층 상에 배치된 제2 강자성층을 포함하고,상기 제1 강자성층의 자화 용이축은 상기 제1 강자성층의 배치 평면에서 상기 제1 강자성층의 타원의 장축과 5 도 내지 20 도 비틀어진 것을 특징으로 하는 스핀 전달 토크 MRAM
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제1 항에 있어서,상기 제1 강자성층의 자화 용이축은 상기 제1 강자성층의 타원의 장축과 10 도 내지 15 도 비틀어진 것을 특징으로 하는 스핀 전달 토크 MRAM
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제1 항에 있어서,상기 자유층은 차례로 적층된 제1 강자성 자유층, 비자성 자유층, 및 제2 강자성 자유층을 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀 전달 토크 MRAM
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제3 항에 있어서,상기 제1 강자성 자유층은 CoFeB이고,상기 비자성 자유층은 Ru이고,상기 제2 강자성 자유층은 CoFeB인 것을 특징으로 하는 스핀 전달 토크 MRAM
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제1 항에 있어서,상기 자유층은 CoFeB, CoFe, NiFeSiB, 및 이들의 조합 중에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀 전달 토크 MRAM
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6 |
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제1 항에 있어서,상기 절연층은 AlO 또는 MgO을 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀 전달 토크 MRAM
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제1 항에 있어서,상기 절연층은:제1 절연층; 상기 제1 절연층 상에 배치된 강자성층;상기 강자성층 상에 배치된 제2 절연층을 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀 전달 토크 MRAM
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