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코어-쉘 구조의 산화갈륨-산화아연 나노로드, 이의 제조방법 및 이를 이용한 가스센서

  • 기술번호 : KST2015157929
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 목적은 코어-쉘 구조의 산화갈륨-산화아연 나노로드, 이의 제조방법 및 이를 이용한 가스센서를 제공하는데 있다.이를 위하여 본 발명은 질화갈륨(GaN) 분말을 원료로 산화갈륨 나노로드를 제조하는 단계(단계 1); 및산화아연 전구체로 상기 단계 1에서 제조된 산화갈륨 나노로드를 코팅하는 단계(단계 2);를 포함하는 코어-쉘 구조의 산화갈륨-산화아연 나노로드의 제조방법을 제공한다.본 발명에 따르면, 종래에 2차원 나노구조를 기반으로 한 산화갈륨 박막을 포함하는 가스센서와는 달리 본 발명은 1차원 나노구조를 기반으로 함으로써, 더욱 넓은 표면적을 가져 상대적으로 높은 감도와 공간 분해능, 빠른 응답속도의 센싱 특성을 나타내며, 종래에 600 ~ 1000 ℃의 고온에서만 검출이 가능하였던 1차원 나노구조의 센싱 감도를 300 ℃의 저온에서도 검출 가능하게 향상시킴으로써, 가스의 누설감지, 농도의 측정 및 기록, 경보등에 사용이 가능한 효과가 있다.
Int. CL B82B 1/00 (2006.01) G01N 27/30 (2006.01)
CPC G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01) G01N 27/127(2013.01)
출원번호/일자 1020120007900 (2012.01.26)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1381317-0000 (2014.03.28)
공개번호/일자 10-2013-0086859 (2013.08.05) 문서열기
공고번호/일자 (20140404) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.01.26)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이종무 대한민국 경기 고양시 일산동구
2 진창현 대한민국 인천 남구
3 박성훈 대한민국 인천 부평구
4 김현수 대한민국 경기 남양주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 인천광역시 미추홀구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원] 특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.01.26 수리 (Accepted) 1-1-2012-0065666-40
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.02.01 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.03.08 수리 (Accepted) 9-1-2013-0013011-02
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.08.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0572234-70
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2013.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2013-0948228-12
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2013-0993426-01
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.10.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0993428-92
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2014.01.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0073750-36
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-0200365-61
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2014.02.28 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0200364-15
11 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2014.03.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0197297-28
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
산화갈륨(Ga2O3) 나노로드가 중심부(core)에 위치하고, 상기 중심부의 외주면(shell)에 결정질 산화아연(ZnO) 코팅층이 형성된 코어-쉘 구조이고, 이산화질소를 검출하는 가스 센서용으로 사용되는 것을 특징으로 하는 코어-쉘 구조의 산화갈륨-산화아연 나노로드
2 2
제1항에 있어서, 상기 산화아연 코팅층의 두께는 10 ~ 20 nm 인 것을 특징으로 하는 코어-쉘 구조의 산화갈륨-산화아연 나노로드
3 3
기판; 절연층; 제1항의 코어-쉘 구조의 산화갈륨-산화아연 나노로드 및 전극을 포함하면서 상기 순서대로 적층된 가스센서
4 4
제3항에 있어서, 상기 기판은 반도체 기판, 비전도성 막, 도전성 전극패턴을 포함하는 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 가스센서
5 5
제3항에 있어서, 상기 절연층은 이산화규소(SiO2), 산화알루미륨(Al2O3), 산화탄탈륨(Ta2O5), 산화지르코늄(ZrO2), 이산화하프늄(HfO2), 이산화타이타늄(TiO2), 산화질화규소(SiON), 질화규소(Si3N4), 하프늄 실리콘 옥시나이트라이드(HfSiON), 및 하프늄실리케이트(HfSiXOY, 이때 0
6 6
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7 7
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8 8
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9 9
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10 10
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국연구재단 중점연구소 (정부 및 산업체)그린 생체모방형 임플란터블 전자칩 및 U-생체정보처리 플렛폼 융합기술개발(정보전자공동연구소)