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생체 신호를 처리하는 처리부와 일단이 연결되며, 타단은 인체와 접촉하여 상기 생체신호를 감지하는 생체신호 측정센서이고, 상기 생체신호 측정센서는,복수 개의 홀이 일정한 패턴으로 형성되며, 초소수성 성질을 갖는 생체전극 박막; 및상기 생체전극 박막과 동일한 패턴 형상으로 형성된 기판을 포함하며,상기 생체전극 박막은,상기 기판 중심부에 구비된 컨텍홀 외부로 돌출되어 상기 처리부와 연결되는 것을 특징으로 하는 초소수성 표면을 갖는 생체신호 측정센서
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제1항에 있어서,상기 생체신호는,근전도(EMG), 심전도(ECG) 뇌전도(EEG), 피부저항(GSR), 안구운동 및 신체온도 신호로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나의 신호인 것을 특징으로 하는 초소수성 표면을 갖는 생체신호 측정센서
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제2항에 있어서,상기 생체전극 박막은,은-염화은(Ag-AgCl) 금속 재질인 것을 특징으로 하는 초소수성 표면을 갖는 생체신호 측정센서
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복수 개의 홀이 일정한 패턴으로 형성되도, 초소수성 성질을 갖는 생체전극 박막; 및상기 생체전극 박막과 동일한 패턴 형상으로 형성된 기판을 포함하며,상기 생체전극 박막은,상기 기판 중심부에 구비된 컨텍홀 외부로 돌출되는 것을 특징으로 하는 초소수성 표면을 갖는 생체신호 측정센서
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제4항에 있어서,상기 생체전극 박막은,은-염화은(Ag-AgCl) 금속 재질인 것을 특징으로 하는 초소수성 표면을 갖는 생체신호 측정센서
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제4항에 있어서,상기 생체전극 박막은,하부 표면이 금 또는 은으로 도금된 것을 특징으로 하는 초소수성 표면을 갖는 생체신호 측정센서
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기판 하부에 건식 생체 전극을 제공하는 단계;상기 건식 생체 전극 표면을 플라즈마 공정을 통해 초소수성 성질을 갖도록 처리하는 단계;상기 기판의 주변 영역 상에 일정한 패턴으로 복수 개의 관통홀을 형성하는 단계;상기 기판의 중심 영역에 컨택홀을 형성하는 단계; 및상기 컨택홀 내에 상기 초소수성 건식 생체 전극 물질을 매립하는 단계를 포함하는 초소수성 표면을 갖는 생체신호 측정센서 형성방법
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