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다층형 나노발전기 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015157943
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 산화 아연(ZnO)과 같은 물질의 압전효과를 이용하여 불규칙한 움직임으로부터 전력을 생산하는 나노발전기(nanogenerator)에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 종래의 나노발전기는 상대적으로 발전량이 미세하여 일반적인 전자기기의 전원에 적용하려면 매우 많은 수의 나노발전기가 필요하고, 또한, 더 많은 발전량을 얻기 위해 나노발전기의 수를 증가시키면 그만큼 발전기 자체의 면적이 커지는 문제를 해결하기 위해, 나노발전기의 구조를 다층 형태로 형성함으로써 동일한 면적에서 더욱 많은 발전량을 제공할 수 있는 새로운 다층형 나노발전기 및 그 제조방법이 제공된다.
Int. CL H02N 2/18 (2006.01) H01L 41/02 (2006.01)
CPC H01L 41/083(2013.01) H01L 41/083(2013.01) H01L 41/083(2013.01) H01L 41/083(2013.01) H01L 41/083(2013.01)
출원번호/일자 1020120065026 (2012.06.18)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1293781-0000 (2013.07.31)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20130806) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.06.18)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 노임준 대한민국 인천 남구
2 신백균 대한민국 인천 연수구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 인천광역시 미추홀구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.06.18 수리 (Accepted) 1-1-2012-0482518-16
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.06.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.07.09 수리 (Accepted) 9-1-2013-0055238-21
4 등록결정서
Decision to grant
2013.07.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0521726-47
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
다층형 나노발전기에 있어서, 기판; 상기 기판 위에 형성되는 하부전극층; 상기 하부전극층 위에 형성되는 제 1 시드층(seed layer); 상기 제 1 시드층으로부터 수직 방향으로 성장된 복수의 나노와이어를 포함하는 제 1 나노와이어층; 상기 제 1 나노와이어층 위에 형성되는 제 1 상부전극층; 상기 제 1 상부전극층 위에 형성되는 제 2 시드층; 상기 제 2 시드층으로부터 수직 방향으로 성장된 복수의 나노와이어를 포함하는 제 2 나노와이어층; 및 상기 제 2 나노와이어층 위에 형성되는 제 2 상부전극층이 차례로 적층된 형태의 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 다층형 나노발전기
2 2
제 1항에 있어서, 상기 기판은 유리나 실리콘으로 이루어지거나, 또는, PET로 이루어지는 플렉서블 기판을 사용하는 것을 특징으로 하는 다층형 나노발전기
3 3
제 1항에 있어서, 상기 하부전극층은 ITO(Indium Thin Oxide)를 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 다층형 나노발전기
4 4
제 1항에 있어서, 상기 제 1 시드층 및 제 2 시드층은 AZO(Aluminium doped ZnO)를 포함하는 아연 산화물(Zinc Oxide)을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 다층형 나노발전기
5 5
제 1항에 있어서, 상기 제 1 상부전극층 및 상기 제 2 상부전극층은 Au 또는 Al을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 다층형 나노발전기
6 6
청구항 1항 내지 5항 중 어느 한 항에 기재된 다층형 나노발전기의 제조방법에 있어서, 기판을 준비하는 단계; 상기 기판 위에 하부전극층을 형성하는 단계; 상기 하부전극층 위에 제 1 시드층을 형성하는 단계; 상기 제 1 시드층으로부터 수직 방향으로 나노와이어를 성장시켜 제 1 나노와이어층을 형성하는 단계; 상기 제 1 나노와이어층 위에 제 1 상부전극층을 형성하는 단계; 상기 제 1 상부전극층 위에 제 2 시드층을 형성하는 단계; 상기 제 2 시드층으로부터 수직 방향으로 나노와이어를 성장시켜 제 2 나노와이어층을 형성하는 단계; 및 상기 제 2 나노와이어층 위에 제 2 상부전극층을 형성하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 다층형 나노발전기의 제조방법
7 7
제 6항에 있어서, 상기 기판은 유리나 실리콘으로 이루어지거나, 또는, PET로 이루어지는 플렉서블 기판을 사용하는 것을 특징으로 하는 다층형 나노발전기의 제조방법
8 8
제 6항에 있어서, 상기 하부전극층은 ITO(Indium Thin Oxide)를 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 다층형 나노발전기의 제조방법
9 9
제 6항에 있어서, 상기 제 1 시드층 및 제 2 시드층은 AZO(Aluminium doped ZnO)를 포함하는 아연 산화물(Zinc Oxide)을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 다층형 나노발전기의 제조방법
10 10
제 6항에 있어서, 상기 제 1 상부전극층 및 상기 제 2 상부전극층은 Au 또는 Al을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 다층형 나노발전기의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 인하대학교 산학협력단 기본연구 래터럴 구조의 고출력 자가발전 나노소자