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PZT가 코팅된 나노와이어를 압전소자로써 포함하는 나노발전기 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015158005
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 PZT가 코팅된 ZnO 나노와이어를 압전소자로써 포함하는 나노발전기 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 PZT가 코팅된 ZnO 나노와이어를 압전소자로써 포함하는 나노발전기는 ZnO 나노와이어 표면 전체에 압전 계수가 높은 PZT가 고르게 코팅되어, 압전 전환 효율이 현저히 향상하므로, 나노발전기의 제조에 유용할 수 있다.
Int. CL H02N 2/18 (2006.01) H01L 41/22 (2006.01)
CPC H02N 2/22(2013.01) H02N 2/22(2013.01) H02N 2/22(2013.01) H02N 2/22(2013.01) H02N 2/22(2013.01)
출원번호/일자 1020130010566 (2013.01.30)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1409326-0000 (2014.06.12)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140620) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.01.30)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 노임준 대한민국 인천 남구
2 신백균 대한민국 인천 연수구
3 정대용 대한민국 서울 종로구
4 이선우 대한민국 인천 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 인천광역시 미추홀구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0090721-85
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.08.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0083866-85
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.11.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0822914-51
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.12.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1212671-42
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.12.31 수리 (Accepted) 1-1-2013-1212669-50
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2014.05.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0335160-87
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.05.21 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0476755-14
9 등록결정서
Decision to grant
2014.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0372407-71
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판에 ZnO 나노와이어를 성장시키는 단계(단계 1);PZT(Pb(Zr0
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 PZT는 Pb(Zr0
4 4
제1항에 있어서, 상기 단계 1의 ZnO 나노와이어는, 10-60 nm 두께이고, 알루미늄(Al) 및 산화아연(ZnO)이 0
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
제1항에 있어서,상기 단계 1에서 형성되는 ZnO 나노와이어는 길이가 1-10 ㎛이고, 직경이 30-70 nm인 것을 특징으로 하는 나노발전기의 제조방법
8 8
제1항에 있어서,상기 단계 3의 스퍼터링은 RF(Radio Frequency) 마그네트론 스퍼터링 방법이고, 60-100 Å/min의 용착속도(deposition rate)인 것을 특징으로 하는 나노발전기의 제조방법
9 9
제1항에 있어서,상기 단계 4의 열처리는,7-10 ℃/min의 승온속도로 450-650 ℃까지 가열한 다음 0
10 10
제1항에 있어서,상기 단계 5의 폴링(배향분극)은 기판의 온도를 70-90 ℃로 유지하며, 양극과 음극의 간격을 4-6 cm로 두고, 10-12 kV의 전압을 20-40분 동안 인가하는 코로나 폴링(Corona poling)인 것을 특징으로 하는 나노발전기의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 인하대학교 산학협력단 기본연구 래터럴 구조의 고출력 자가발전 나노소자