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타이타늄산화물(TiO2) 재질의 시드층;수직 자기 이방성을 가지는 강자성체를 포함하고 상기 시드층 상에 배치되고 배치 평면에 수직인 자화 방향을 가지는 자유층; 수직 자기 이방성을 가지는 강자성체를 포함하고 상기 자유층 상에 배치되고 배치 평면에 수직인 자화방향을 가지는 고정층; 및상기 자유층과 상기 고정층 사이에 개재된 비자성 스페이서층을 포함하고,상기 시드층의 두께는 0
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제1 항에 있어서,상기 비자성 스페이서층은 금속층이고, 구리, 금, 은 , 및 크롬 중에서 적어도 하나를 포함하고,상기 비자성 스페이서층의 두께는 0
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제1 항에 있어서,상기 비자성 스페이서층은 절연층이고 알루미늄산화막 및 마그네슘 산화막 중에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 수직 방향 자기저항소자
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제1 항에 있어서,상기 자유층은 Co/Pd, Co/Pt, CoFe/Pd, CoFe/Pt, Co/Ni, CoFeB, CoFeB/Pt, CoFeB/Pd 중에서 적어도 하나를 포함하고,상기 자유층의 두께는 0
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제1 항에 있어서,상기 고정층은 초격자다층박막, CoFeB, FePd, FePt, 및 희토류-전이금속 합금 중에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 수직 방향 자기저항소자
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제6 항에 있어서,상기 초격자다층박막은 강자성층 및 금속 도전층을 포함하고,상기 강자성층은 Co, CoFe, 또는 CoFeB이고,상기 금속 도전층은 Pd, Ni, 또는 Pd이고,상기 강자성층의 두께는 0
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제7 항에 있어서,상기 초격자다층박막은 [Co/Pd]N,[Co/Pt]N,[CoFe/Pd]N,[CoFe/Ptd]N, 또는 [Co/Ni]N 이고, N은 2 이상의 자연수인 것을 특징으로 하는 수직 방향 자기저항소자
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제1 항에 있어서,상기 고정층은 [Co/Pd]N 구조의 초격자다층박막이고,상기 자유층은 Co/Pd 구조이고,상기 비자성 스페이서층은 구리이고, 상기 비자성 스페이서층의 두께는 0
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