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상온진공분말분사 및 수열합성법을 이용한 다결정 티탄산납 후막의 제조방법 및 이를 통해 제조되는 다결정 티탄산납 후막

  • 기술번호 : KST2015158037
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 목적은 다결정 티탄산납 후막의 제조방법 및 이를 통해 제조되는 다결정 티탄산납 후막을 제공하는 데 있다. 이를 위하여, 본 발명은 산화티타늄(TiO2) 분말과 산화납(PbO) 분말로부터 티탄산납(PbTiO3) 분말을 제조하는 단계(단계 1); 상기 단계 1에서 제조된 티탄산납 분말을 이용하여 원하는 기판 상에 졸-겔법, 상온분말분사법, 스퍼터링 및 화학기상증착법으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종의 방법으로 코팅하여 핵생성층을 형성하는 단계(단계 2); 및 상기 단계 2에서 핵생성층으로부터 티탄산납 후막을 성장시키는 단계(단계 3);를 포함하는 다결정 티탄산납 후막의 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따라 제조된 다결정 티탄산납 후막은 졸-겔법, 상온분말분사법, 스퍼터링 및 화학기상증착법으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종의 방법으로 코팅하여 핵생성층을 형성한 후 막을 성장시킴에 따라 고온의 열처리 없이도 결정성이 향상되고 티탄산납 후막의 접착 특성 및 전기적 특성이 향상됨으로써, 제작된 소자의 전기에너지 저장밀도와 신뢰성을 개선함으로써 상기 다결정 막을 이용하여 소자를 제작할 경우 우수한 성능의 박막형 유전체재료, 압전재료, 센서 및 엑츄에이터의 기초소자로 제작할 수 있는 효과가 있다.
Int. CL C23C 26/00 (2006.01) C23C 28/00 (2006.01) C23C 24/06 (2006.01)
CPC C23C 24/02(2013.01) C23C 24/02(2013.01) C23C 24/02(2013.01)
출원번호/일자 1020130029859 (2013.03.20)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1469170-0000 (2014.11.28)
공개번호/일자 10-2014-0115138 (2014.09.30) 문서열기
공고번호/일자 (20141204) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.03.20)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정대용 대한민국 서울 종로구
2 이정근 대한민국 경기 시흥시 문화마을로
3 이수환 대한민국 인천 부평구
4 노임준 대한민국 인천 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 국방과학연구소 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.03.20 수리 (Accepted) 1-1-2013-0241337-53
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.12.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.01.10 수리 (Accepted) 9-1-2014-0001762-70
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0298441-09
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.06.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0589189-98
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.06.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-0589190-34
7 등록결정서
Decision to grant
2014.11.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0811040-49
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
산화티타늄(TiO2) 분말과 산화납(PbO) 분말로부터 티탄산납(PbTiO3) 분말을 제조하는 단계(단계 1);상기 단계 1에서 제조된 티탄산납 분말을 이용하여 원하는 기판 상에 상온분말분사법으로 코팅하여 핵생성층을 형성하는 단계(단계 2); 및상기 단계 2에서 수열합성법으로 핵생성층으로부터 티탄산납 후막을 성장시키는 단계(단계 3);를 포함하는 다결정 티탄산납 후막의 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 단계 1은 볼밀에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 다결정 티탄산납 후막의 제조방법
3 3
제 2 항에 있어서,상기 볼밀 후 건조 및 하소하고 이를 체로 걸러내는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다결정 티탄산납 후막의 제조방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 단계 2의 기판은 백금, 금, 은, 니켈, 구리, 티타늄, 마그네슘 및 철로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종의 기판인 것을 특징으로 하는 다결정 티탄산납 후막의 제조방법
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 단계 2의 기판은 세라믹 위에 백금, 금, 은, 니켈, 구리, 티타늄, 마그네슘 및 철로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종의 금속을 코팅한 기판인 것을 특징으로 하는 다결정 티탄산납 후막의 제조방법
6 6
삭제
7 7
제 1 항에 있어서,상기 단계 2 이후에 상기 단계 2에서 형성된 핵생성층을 열처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다결정 티탄산납 후막의 제조방법
8 8
제 7 항에 있어서,상기 열처리는 400 ℃ 내지 800 ℃ 의 온도로 수행되는 것을 특징으로 하는 다결정 티탄산납 후막의 제조방법
9 9
삭제
10 10
삭제
11 11
삭제
12 12
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 인하대학교 산학협력단 기본연구 비균일 핵생성을 이용한 저온에서의 고결정성 세라믹 막의 성장