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기판, 하부전극, 고분자 층 및 상부전극이 순차로 적층되어 하부전극과 상부전극의 거리 변화 또는 z축 상에서 겹쳐지는 면적의 변화에 따른 정전용량의 변화를 측정함으로서 상기 상부전극과 상기 하부전극 사이에 가해지는 수직력 및 전단력을 측정하는 촉각 센서로서,상기 하부전극은 중심부가 상기 기판의 중심에 대해 서로 일정한 각도로 이격되어 상기 기판에 적층되는 복수 개의 윈도우형(window type) 하부전극을 포함하고,상기 상부전극은 상기 윈도우형 하부전극들과 z축 상에서 서로 대응하는 위치에 상기 고분자 층에 적층되는 복수 개의 윈도우형 상부전극을 포함하며,z축 상에서 서로 대응하는 하나의 윈도우형 하부전극과 하나의 윈도우형 상부전극으로 이루어지는 전극 쌍들은 각각 서로 다른 방향의 전단력이 가해질 때 z축 상에서 겹쳐지는 면적이 변화하여, 각각 서로 다른 방향의 전단력을 측정하고,상기 전극 쌍들은 수직력이 가해질 때, z축상에서 겹쳐지는 면적은 유지된 채, 거리만이 변화하는 것을 특징으로 하는 촉각 센서
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제 1 항에 있어서,상기 기판은 폴리다이메틸실록산(polydimethylsiloxane) 기판을 포함하는 유연성 기판인 것을 특징으로 하는 촉각 센서
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 하부전극은 서로 이격된 네 개의 윈도우형 하부전극을 포함하여 이루어지고,상기 상부전극은 서로 전기적으로 연결된 네 개의 윈도우형 상부전극을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 촉각 센서
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제 3 항에 있어서,상기 상부전극의 상부에는 소수성 및 절연성을 갖는 전극 보호층이 적층되는 것을 특징으로 하는 촉각 센서
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제 3 항에 있어서, 상기 하부전극:은,y축 방향으로 서로 평행한 복수 개의 제1 y축 하부 라인전극들로 구성되는 제1 윈도우형 하부전극;x축 방향으로 서로 평행한 복수 개의 제1 x축 하부 라인전극들로 구성되는 제2 윈도우형 하부전극;y축 방향으로 서로 평행한 복수 개의 제2 y축 하부 라인전극들로 구성되는 제3 윈도우형 하부전극; 및x축 방향으로 서로 평행한 복수 개의 제2 x축 하부 라인전극들로 구성되는 제4 윈도우형 하부전극:을 포함하고,상기 상부전극:은상기 제1 윈도우형 하부전극과 전극 쌍을 이루고 (-)x축 방향의 전단력을 측정하며, 상기 제1 y축 하부 라인전극들과 z축 상에서 겹쳐지되 (-)x축 방향으로 치우쳐 겹쳐지고 y축 방향으로 서로 평행한 복수 개의 제1 y축 상부 라인전극들로 구성되는 제1 윈도우형 상부전극;상기 제2 윈도우형 하부전극과 전극 쌍을 이루고 (+)y축 방향의 전단력을 측정하며, 상기 제1 x축 하부 라인전극들과 z축 상에서 겹쳐지되 (+)y축 방향으로 치우쳐 겹쳐지고 x축 방향으로 서로 평행한 복수 개의 제1 x축 상부 라인전극들로 구성되는 제2 윈도우형 상부전극;상기 제3 윈도우형 하부전극과 전극 쌍을 이루고 (+)x축 방향의 전단력을 측정하며, 상기 제2 y축 하부 라인전극들과 z축 상에서 겹쳐지되 (+)x축 방향으로 치우쳐 겹쳐지고 y축 방향으로 서로 평행한 복수 개의 제2 y축 상부 라인전극들로 구성되는 제3 윈도우형 상부전극; 및상기 제4 윈도우형 하부전극과 전극 쌍을 이루고 (-)y축 방향의 전단력을 측정하며, 상기 제2 x축 하부 라인전극들과 z축 상에서 겹쳐지되 (-)y축 방향으로 치우쳐 겹쳐지고 x축 방향으로 서로 평행한 복수 개의 제2 x축 상부 라인전극들로 구성되는 제4 윈도우형 상부전극;을 포함하고,상기 각 하부 라인전극들의 폭은 z축 상에서 겹쳐지는 상부 라인전극들의 폭보다 큰 것을 특징으로 하는 촉각 센서
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