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지향성 음향센서 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015158069
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 지향성 음향센서 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 구체적으로 외부 음향의 발생 위치에 따른 복수의 압저항 소자 간에 저항 차이를 통해 외부 음향의 발생 방향을 특정할 수 있는 지향성 음향센서 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
Int. CL H04R 31/00 (2006.01) H04R 17/02 (2006.01)
CPC H04R 17/02(2013.01) H04R 17/02(2013.01) H04R 17/02(2013.01) H04R 17/02(2013.01) H04R 17/02(2013.01)
출원번호/일자 1020130081580 (2013.07.11)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1512316-0000 (2015.04.09)
공개번호/일자 10-2015-0008249 (2015.01.22) 문서열기
공고번호/일자 (20150416) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.07.11)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장성필 대한민국 경기 고양시 일산동구
2 차두열 대한민국 충청북도 청주시 상당구
3 김덕수 대한민국 인천 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2013-0624771-83
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.04.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.05.13 수리 (Accepted) 9-1-2014-0038828-40
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.07.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0482577-15
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.08.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0745285-99
6 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.01.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0032680-78
7 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2015.01.16 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0046246-02
8 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2015.02.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0077076-09
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.02.03 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0114736-91
10 등록결정서
Decision to Grant Registration
2015.04.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0236928-24
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
실리콘 기판 상부에 이산화규소(SiO2), 질화 규소(Si3N4), 캡톤(Kapton), 폴리다이메틸실록세인(Polydimethylsiloxane, PDMS) 및 폴리아미드(Polyimide) 중에서 선택된 어느 하나를 다이어프램 구조체로 성장시키는 성장단계;상기 다이어프램 구조체의 상부에 폴리실리콘(polysilicon), 게르마늄(germanium), 비정질 실리콘(amorphous silicon) 및 탄화규소(SiC) 중에서 선택된 어느 하나를 압저항 소재로 증착시키는 증착단계;리소그래피 공정을 통해 상기 압저항 소재에 소정의 패턴을 형성시키는 패턴 형성단계; 및상기 실리콘 기판 내측을 식각하여 음공을 형성하는 식각단계;를 포함하는 지향성 음향센서의 제조방법
2 2
제 1항에 있어서,상기 증착단계에서 증착되는 압저항 소재는, 상기 다이어프램 구조체 상부의 서로 다른 위치에 복수 개로 증착되는 것을 특징으로 하는 지향성 음향센서의 제조방법
3 3
제 2항에 있어서,상기 식각단계는 반응이온에칭(Reactive Ion Etching) 또는 습식 식각을 통해 상기 음공을 식각하는 것을 특징으로 하는 지향성 음향센서의 제조방법
4 4
삭제
5 5
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국산업기술대학교 산학협력단 IT융합 고급인력과정 지원사업 생체신호를 이용한 IT기반 재활의료기기 개발