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정전기력을 이용한 캔틸레버 습도센서

  • 기술번호 : KST2015158076
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 수분과 접촉되는 면적을 최대화하기 위해 상부전극을 캔틸레버 형태로 제작을 하고, 양 전극의 거리를 최소화하여 민감도를 높이기 위해 정전기력을 이용한 캔틸레버 습도센서 및 캔틸레버 습도센서 제조방법에 관한 것이다.
Int. CL G01N 27/22 (2006.01)
CPC G01N 27/223(2013.01) G01N 27/223(2013.01) G01N 27/223(2013.01) G01N 27/223(2013.01) G01N 27/223(2013.01)
출원번호/일자 1020130089255 (2013.07.29)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1499795-0000 (2015.03.02)
공개번호/일자 10-2015-0014550 (2015.02.09) 문서열기
공고번호/일자 (20150310) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.07.29)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장성필 대한민국 경기 고양시 일산동구
2 양희준 대한민국 인천광역시 부평구
3 차두열 대한민국 충청북도 청주시 상당구
4 최교상 대한민국 인천 남구
5 정정모 대한민국 경기 이천시 설봉로
6 김덕수 대한민국 인천 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2013.07.29 수리 (Accepted) 1-1-2013-0682750-73
2 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.07.29 수리 (Accepted) 1-1-2013-0682446-08
3 직권정정안내서
Notification of Ex officio Correction
2013.08.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0093054-47
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0658272-23
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.10.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0940099-77
6 등록결정서
Decision to grant
2015.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0137909-12
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판, 하부전극, 절연층, 전극, 감습층 및 상부전극이 순차로 적층되어 습도를 측정하는 정전 용량형 습도 센서에 있어서,상기 상부전극은 캔틸레버 형태로 제작되며 상기 감습층과 일정 거리 이격되어 형성되는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 습도센서
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 상부전극은 상기 전극에서 발생하는 정전기력으로 위·아래로 구동되는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 습도센서
3 3
기판에 하부전극을 증착하는 하부전극 증착 단계;상기 하부 전극층을 패터닝하는 하부전극 패터닝 단계;상기 하부 전극층에 전극을 형성하는 전극 증착 단계:상기 전극층에 절연막을 형성하는 절연층 형성 단계;상기 절연층에 감습층을 형성하는 감습층 형성 단계;상기 감습층에 상부전극을 형성하는 상부전극 증착 단계; 및 상기 상부전극을 상기 감습층까지 증착된 증착층과 일정거리 이격되어 형성되도록 캔틸레버 형태로 식각하는 식각 단계;를 포함하는 캔틸레버 습도센서 제조방법
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 상부전극은 기판으로부터 기둥이 형성되어 캔틸레버 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 습도센서 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국산업기술대학교 산학협력단 IT융합 고급인력과정 지원사업 생체신호를 이용한 IT기반 재활의료기기 개발