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하부 웨이퍼;상기 하부 웨이퍼와 외팔보 형상으로 지지된 상부 웨이퍼;상기 상부 웨이퍼의 자유단 상의 적어도 일부에 형성된 상부전극;상기 하부 웨이퍼 상에 형성되며, 상기 상부전극과 대응되는 위치에 형성되는 하부전극;상기 하부전극 상에 형성되는 감습층;상기 상부 웨이퍼 상에 상기 상부 웨이퍼의 자유단과 상기 상부 웨이퍼의 고정단의 경계지점을 포함하는 위치에 형성되는 압저항 소자;를 포함하는 압저항 습도센서
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제 1항에 있어서,상기 상부웨이퍼는,상기 상부웨이퍼의 고정단이 상기 하부웨이퍼의 적어도 일부와 접합되며, 상기 자유단은 전자기력에 의해 휘는것을 특징으로 하는 압저항 습도센서
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제 1항에 있어서,상기 상부 전극은,전압이 인가될 수 있는 전압인가용 전극이 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 압저항 습도센서
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제 1항에 있어서,상기 압저항 소자는,상기 상부 웨이퍼의 자유단이 받는 응력에 따라 저항의 변화가 생기는 것을 특징으로 하는 압저항 습도센서
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제 1항에 있어서,상기 압저항 소자는,미로모양의 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 압저항 습도센서
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제 1항에 있어서,상기 하부 전극은,전압이 인가될 수 있는 전압인가용 전극이 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 압저항 습도센서
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제 1항에 있어서,상기 감습층은,외부의 수분을 흡수하여 유전율이 변화되는 것을 특징으로 하는 압저항 습도센서
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제 1항에 있어서,상기 감습층은,폴리이미드(Polyimide)인 것을 특징으로 하는 압저항 습도센서
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제 1항에 있어서,상기 상부 전극 및 상기 하부 전극에 일정한 전압이 인가되어 상기 상부웨이퍼 및 상기 하부 웨이퍼 사이에 전자기력을 발생시키고, 상기 상부 전극 및 상기 하부 전극 사이에 위치한 감습층은 외부 수분에 따라 가변되는 유전율을 가지며, 상기 가변되는 유전율을 기초로 상기 전자기력의 세기를 변화시키고, 상기 전자기력의 세기를 통해 상기 상부 웨이퍼의 자유단에 인가되는 응력의 크기가 변화되며, 상기 응력의 크기 변화는 압저항 소자의 저항값의 변화를 통해 측정되는 것을 특징으로 하는 압저항 습도센서
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하부 웨이퍼의 상부에 증착되는 하부 전극을 제조하는 단계; 상기 하부 전극의 상부에 코팅되는 감습층을 제조하는 단계;외팔보 형태의 상부웨이퍼를 제조하는 단계;상기 상부웨이퍼의 상부에 증착되는 상부 전극을 제조하는 단계; 및상기 상부웨이퍼의 상부에 증착되어 저항이 변하는 압저항 소자를 제조하는 단계; 및상기 하부 웨이퍼 및 상기 상부웨이퍼를 접합하는 단계;를 포함하는 압저항 습도센서의 제조방법
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제 12항에 있어서,상기 상부 전극을 제조하는 단계는,상기 상부 웨이퍼의 상부에 감광제를 전체적으로 도포하는 단계;상기 감광제가 도포된 웨이퍼에 상부 전극의 패턴을 전사하는 단계;상기 패턴이 전사된 감광제를 현상하는 단계;상기 감광제가 현상된 웨이퍼 상부에 상부 전극 물질을 증착시키는 단계; 및감광제를 현상한 후 남은 감광제를 제거하는 단계를 통해 상부 전극의 패턴모양을 증착시키는 것을 특징으로 하는 압저항 습도센서의 제조방법
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제 12항에 있어서,상기 압저항 소자를 제조하는 단계는,상기 상부 웨이퍼의 상부에 감광제를 전체적으로 도포하는 단계;상기 감광제가 도포된 웨이퍼에 압저항 소자의 패턴을 전사하는 단계;상기 패턴이 전사된 감광제를 현상하는 단계;상기 감광제가 현상된 웨이퍼 상부에 압저항 물질을 증착시키는 단계; 및 감광제를 현상한 후 남은 감광제를 제거하는 단계를 통해 압저항 소자의 패턴모양을 증착시키는 것을 특징으로 하는 압저항 습도센서의 제조방법
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제 12항에 있어서,상기 상부웨이퍼를 제조하는 단계는,웨이퍼를 절삭 및 식각하여 고정단 및 자유단이 구비된 외팔보 형태의 웨이퍼를 형성하는 것을 특징으로 하는 압저항 습도센서의 제조방법
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제 12항에 있어서,상기 하부 전극을 제조하는 단계는,상기 하부 웨이퍼의 상부에 감광제를 전체적으로 도포하는 단계;상기 감광제가 도포된 웨이퍼에 하부 전극의 패턴을 전사하는 단계;상기 패턴이 전사된 감광제를 현상하는 단계;상기 감광제가 현상된 웨이퍼 상부에 하부 전극 물질을 증착시키는 단계; 및감광제를 현상한 후 남은 감광제를 제거하는 단계를 통해 하부 전극의 패턴모양을 증착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압저항 습도센서의 제조방법
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제 12항에 있어서,상기 감습층을 제조하는 단계는,상기 하부 전극이 증착된 웨이퍼의 상부에 감습물질을 코팅하는 단계; 및 상기 코팅된 감습물질을 감습층의 형태로 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압저항 습도센서의 제조방법
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제 19항에 있어서,상기 감습층의 형태로 식각하는 단계는,깊은 반응성 이온 에칭(DRIE: Deep Reactive Ion Etching)을 이용한 건식 식각방법을 이용하는 것을 특징으로 하는 압저항 습도센서의 제조방법
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제 12항에 있어서,상기 상부 가판층 및 상기 하부 기판층이 실리콘 접합에 의해 접합되는 것을 특징으로 하는 압저항 습도센서의 제조방법
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