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초소형 리프터 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015158281
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따르면, 중심부에 공간이 형성된 외곽프레임 및 일단부가 이 외곽프레임의 일측내면부에 고정되고, 타단부가 이 외곽프레임의 중심부쪽을 향하도록 위치한 제 1외팔보를 포함하고, 이 제 1외팔보의 일면에는 자기력에 의하여 변형을 일으키는 자기변형박막이 증착된 것을 특징으로 하는 초소형 리프터 및 그 제조 방법이 제공된다.개시된 초소형 리프터 및 그 제조 방법에 따르면, 초소형 리프터를 원격으로 조절하는 것이 가능하므로 생체 및 의료 분야 등에 다양하게 사용될 수 있다는 장점이 있다. 또한, 상승시키고자 하는 물체를 더욱 안정적으로 지지하면서 강력한 힘으로 상승시킬 수 있으며, 정확한 위치로 상승 또는 하강시키는 것이 가능하므로, MEMS 구조물의 위치제어에 적용이 가능하다. 아울러, 제조가 용이하여 제조 단가를 낮출 수 있고 대량 생산이 가능하다는 장점이 있다.자기변형, MEMS, 박막, 리프터, 초소형, Micro
Int. CL B81B 3/00 (2006.01)
CPC B81B 3/0018(2013.01) B81B 3/0018(2013.01)
출원번호/일자 1020070027642 (2007.03.21)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2008-0086049 (2008.09.25) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.03.21)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조종두 대한민국 인천 남구
2 이흥식 대한민국 인천 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장한특허법인 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로 ***, **층 (서초동, 서초지웰타워)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2007.03.21 수리 (Accepted) 1-1-2007-0224326-11
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.02.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.03.07 수리 (Accepted) 4-1-2008-0003929-31
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2008-0017789-13
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0235890-78
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2008-5093865-89
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2008-0471950-42
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.06.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0471948-50
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2008.10.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0535206-27
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.17 수리 (Accepted) 4-1-2009-5220324-82
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
중심부에 공간이 형성된 외곽프레임; 및일단부가 상기 외곽프레임의 일측내면부에 고정되고, 타단부가 상기 외곽프레임의 중심부쪽을 향하도록 위치한 제 1외팔보를 포함하고,상기 제 1외팔보의 일면에는 자기력에 의하여 변형을 일으키는 자기변형박막이 증착된 것을 특징으로 하는 초소형 리프터
2 2
제 1항에 있어서,일단부가 상기 외곽프레임의 타측내면부에 고정되고, 타단부가 상기 외곽프레임의 중심부쪽을 향하도록 위치한 제 2외팔보를 더 포함하고,상기 제 2외팔보의 일면에는 자기력에 의하여 변형을 일으키는 자기변형박막이 증착된 것을 특징으로 하는 초소형 리프터
3 3
제 2항에 있어서,상기 제 1외팔보 및 제 2외팔보는 다수 개가 서로 엇갈려 배열된 것을 특징으로 하는 초소형 리프터
4 4
제 3항에 있어서, 상기 제 1외팔보 및 제 2외팔보는,서로 다른 두께인 것을 특징으로 하는 초소형 리프터
5 5
제 3항에 있어서, 상기 제 1외팔보 및 제 2외팔보는,서로 다른 길이인 것을 특징으로 하는 초소형 리프터
6 6
웨이퍼에서 상기 외곽프레임, 상기 제 1외팔보 및 제 2외팔보가 형성될 부분에 포토레지스트를 도포하는 포토레지스트도포단계;상기 웨이퍼를 식각한 뒤, 상기 포토레지스트를 제거하여 상기 외곽프레임, 제 1외팔보 및 제 2외팔보를 형성하는 식각단계;상기 웨이퍼의 외각프레임 부분에 패턴마스크를 도포하는 패턴마스크도포단계;상기 웨이퍼에 자기변형박막을 증착하는 자기변형박막증착단계; 및상기 웨이퍼에서 상기 패턴마스크를 제거하여 상기 자기변형박막이 상기 제 1외팔보 및 제 2외팔보 부분에만 남도록 하는 패턴마스크제거단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 초소형 리프터의 제조 방법
7 7
제 6항에 있어서, 상기 자기변형박막은,직류 스퍼터법(DC sputtering methode)에 의하여 상기 웨이퍼에 증착되는 것을 특징으로 하는 초소형 리프터의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.