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마이크로 펌프와 센서를 이용한 유량제어모듈

  • 기술번호 : KST2015158290
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 압력을 측정하는 센서(Sensor)와 유체를 토출하는 구동기를 함께 집적화하여 안정적으로 동작하도록 구성되는 유량제어모듈에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 불규칙적으로 변화하는 외부 압력을 제어하기 위해, 미세 압력센서를 통해 외부 압력을 측정하고 측정된 외부압력에 근거하여 미세 펌프를 제어함으로써 미세 유량제어가 가능하며, 또한, 소형 항공기와 같은 비행체에서 발생하는 난류를 제어하여 비행 성능을 향상시키는데 적용 가능한 데 더하여, 정밀한 유량제어가 필요한 미세 바이오 기기 분야에도 적용될 수 있는 마이크로 펌프와 센서를 이용한 유량제어모듈이 제공된다.
Int. CL G05D 7/00 (2006.01)
CPC G05D 7/06(2013.01)
출원번호/일자 1020120095035 (2012.08.29)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1338171-0000 (2013.12.02)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20131206) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.08.29)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장성필 대한민국 경기 고양시 일산동구
2 차두열 대한민국 충청북도 청주시 상당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 인천광역시 미추홀구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2012-0697126-19
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.08.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0077652-25
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.10.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0725981-02
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.11.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1026071-05
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.11.11 수리 (Accepted) 1-1-2013-1026070-59
7 등록결정서
Decision to grant
2013.11.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0823342-13
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
외부 압력의 변화에 실시간으로 대응할 수 있도록 구성되는 유량제어모듈에 있어서, 기판; 상기 기판 상에 형성되며 외부 압력을 측정하기 위한 미세 압력센서; 및 상기 미세 압력센서와 인접하여 상기 기판 상에 형성되고, 상기 미세 압력센서에 의해 측정된 압력에 대응하여 유체 또는 공기를 토출시킴으로써 유량을 제어하기 위한 미세 펌프를 포함하여 구성되고, 상기 미세 펌프는,유체 또는 공기를 수용하는 챔버;전기에너지의 인가에 의해 진동함으로써 상기 챔버 내의 유체 또는 공기에 압력을 가하는 펌프의 역할을 수행하는 압전 박막; 및상기 챔버 내부의 유체 또는 공기가 배출되는 토출구를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프와 센서를 이용한 유량제어모듈
2 2
제 1항에 있어서, 상기 미세 압력센서가 상기 기판의 중심에 위치되고, 상기 미세 펌프가 상기 미세 압력센서를 둘러싸도록 배치되는 형태로 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프와 센서를 이용한 유량제어모듈
3 3
제 1항에 있어서, 상기 미세 압력센서 및 상기 미세 펌프가 상기 기판 상에 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프와 센서를 이용한 유량제어모듈
4 4
제 1항에 있어서, 상기 미세 압력센서에 의해 측정된 압력에 대응하는 전기에너지의 인가에 의해 상기 압전 박막이 진동하여 상기 챔버 내의 유체 또는 공기가 상기 토출구 밖으로 배출되도록 구성됨으로써, 외부 압력의 변화에 따라 실시간으로 유량을 제어 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프와 센서를 이용한 유량제어모듈
5 5
제 1항에 있어서, 상기 미세 압력센서에서 측정된 압력값을 입력받아 상기 측정된 압력값에 해당하는 전기에너지를 상기 미세 펌프에 전달함으로써 상기 측정된 압력값에 따른 세기로 상기 미세 펌프를 구동하는 제어수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프와 센서를 이용한 유량제어모듈
6 6
청구항 1항 내지 5항 중 어느 한 항에 기재된 유량제어모듈을 이용하여 유량을 제어하는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프와 센서를 이용한 유량제어방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 한국연구재단 인하대학교 산학협력단 신진교수연구지원(이공분야) 초소형 자가발전기술을이용한 고효율 그린 에너지 시스템 집적화구현
2 지식경제부 한국산업기술대학교 산학협력단 IT융합 고급인력과정 지원 사업 생체신호를 이용한 IT기반 재활의료기기 개발