1 |
1
기판를 제공하는 단계;상기 기판 상부에 전사될 박막을 형성하기 위해 원형 패턴이 볼록하게 형성된 마스터의 일면을 스핀 코팅하여 상기 원형 패턴이 오목하게 형성된몰드를 제작하는 단계;상기 제작된 몰드에서, 상기 원형 패턴이 오목하게 형성된 면을 스핀 코팅하여 박막을 형성하는 단계;상기 형성된 박막을 상기 기판 상부로 전사하여 상기 몰드의 오목한 원형 패턴과 동일한 패턴을 형성시키는 단계;상기 기판 상부에 형성된 상기 오목한 원형 패턴에 렌즈 형성용 폴리머를디스펜싱한 후 경화시키는 단계; 및상기 기판 상부로 전사된 박막을 용매로 제거하여 엘이디 패키지용 렌즈를 형성하는 단계를 포함하는 패턴된 소수성 박막을 이용한 엘이디 패키지용 렌즈 형성 방법
|
2 |
2
제 1항에 있어서, 상기 박막의 두께는 500nm이하인 패턴된 소수성 박막을 이용한 엘이디 패키지용 렌즈 형성 방법
|
3 |
3
제 1항에 있어서, 상기 몰드를 제작하는 단계는, 상기 마스터의 일면에 폴리다이메틸실록세인(PDMS: polydimethylsiloxane)를 스핀 코팅하여 폴리다이메틸실록세인 성분의 몰드를 제작하는패턴된 소수성 박막을 이용한 엘이디 패키지용 렌즈 형성 방법
|
4 |
4
제 1항에 있어서, 박막을 형성하는 단계는, 상기 제작된 몰드에서, 상기 원형 패턴이 오목하게 형성된 면에 퍼플로로데실메타크릴레이트(FDMA: 1H, 1H, 2H, 2H-perfluorodecyl methacrylate)을 스핀 코팅하여 폴리 퍼플로로데실메타크릴레이트(PFDMA: poly 1H, 1H, 2H, 2H-perfluorodecyl methacrylate) 성분의 박막을 형성하는 패턴된 소수성 박막을 이용한 엘이디 패키지용 렌즈 형성 방법
|
5 |
5
제 1항에 있어서,상기 렌즈 형성용 폴리머는 불소가 함유되지 않은 패턴된 소수성 박막을 이용한 엘이디 패키지용 렌즈 형성 방법
|
6 |
6
제 1항에 있어서, 상기 용매는 HFE용매인 패턴된 소수성 박막을 이용한 엘이디 패키지용 렌즈 형성 방법
|
7 |
7
제 1항에 있어서, 상기 경화는 UV 경화 또는 열 경화인 패턴된 소수성 박막을 이용한 엘이디 패키지용 렌즈 형성 방법
|
8 |
8
기판을 제공하는 단계;상기 기판 상부에 전사될 박막을 형성하기 위해 원형 패턴이 볼록하게 형성된 마스터의 일면을 스핀 코팅하여 상기 원형 패턴이 오목하게 형성된 몰드를 제작하는 단계;상기 제작된 몰드에서, 상기 원형 패턴이 오목하게 형성된 면을 스핀 코팅하여 박막을 형성하는 단계;상기 형성된 박막을 상기 기판 상부로 전사하여 상기 몰드의오목한 원형 패턴과 동일한 패턴을 형성시키는 단계;상기 기판 상부에 형성된 상기 오목한 원형 패턴에 렌즈 형성용 폴리머를 디스펜싱 하는 단계;상기 디스펜싱된 렌즈 형성용 폴리머를 엠보싱 처리 장치를 이용하여 엠보싱 처리한 후 경화시키는 단계; 및상기 기판 상부로 전사된 박막을 용매로 제거하여 엘이디 패키지용 렌즈를 형성하는 단계를 포함하는 패턴된 소수성 박막을 이용한 엘이디 패키지용 렌즈 형성 방법
|
9 |
9
제 8항에 있어서, 상기 박막의 두께는 500nm이하인 패턴된 소수성 박막을 이용한 엘이디 패키지용 렌즈 형성 방법
|
10 |
10
제 8항에 있어서, 상기 몰드를 제작하는 단계는, 상기 마스터의 일면에 폴리다이메틸실록세인(PDMS: polydimethylsiloxane)를 스핀 코팅하여 폴리다이메틸실록세인 성분의 몰드를 제작하는 패턴된 소수성 박막을 이용한 엘이디 패키지용 렌즈 형성 방법
|
11 |
11
제 8항에 있어서, 박막을 형성하는 단계는, 상기 제작된 몰드에서, 상기 원형 패턴이 오목하게 형성된 면에 퍼플로로데실메타크릴레이트(FDMA: 1H, 1H, 2H, 2H-perfluorodecyl methacrylate)을 스핀 코팅하여 폴리 퍼플로로데실메타크릴레이트(PFDMA: poly 1H, 1H, 2H, 2H-perfluorodecyl methacrylate) 성분의 박막을 형성하는 패턴된 소수성 박막을 이용한 엘이디 패키지용 렌즈 형성 방법
|
12 |
12
제 8항에 있어서,상기 렌즈 형성용 폴리머는 불소가 함유되지 않는 패턴된 소수성 박막을 이용한 엘이디 패키지용 렌즈 형성 방법
|
13 |
13
제 8항에 있어서, 상기 용매는 HFE용매인 패턴된 소수성 박막을 이용한 엘이디 패키지용 렌즈 형성 방법
|
14 |
14
제 8항에 있어서, 상기 경화는 UV 경화 또는 열 경화인 패턴된 소수성 박막을 이용한 엘이디 패키지용 렌즈 형성 방법
|