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스퍼터링 공정을 이용한 다층형 나노발전기의 제조방법 및 이를 이용한 다층형 나노발전기

  • 기술번호 : KST2015158330
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 산화 아연(ZnO)과 같은 물질의 압전효과를 이용하여 불규칙한 움직임으로부터 전력을 생산하는 나노발전기(nanogenerator)에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 종래의 나노발전기는 상대적으로 발전량이 미세하여 일반적인 전자기기의 전원에 적용하려면 매우 많은 수의 나노발전기가 필요하고, 또한, 더 많은 발전량을 얻기 위해 나노발전기의 수를 증가시키면 그만큼 발전기 자체의 면적이 커지는 문제를 해결하기 위해, 스퍼터링 방법을 이용하여 나노발전기의 구조를 다층 형태로 형성함으로써 동일한 면적에서 더욱 많은 발전량을 제공할 수 있는 새로운 다층형 나노발전기 및 그 제조방법이 제공된다.
Int. CL H02N 2/04 (2006.01) H01L 41/22 (2006.01)
CPC H01L 41/22(2013.01) H01L 41/22(2013.01) H01L 41/22(2013.01) H01L 41/22(2013.01)
출원번호/일자 1020120065025 (2012.06.18)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1293782-0000 (2013.07.31)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20130806) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.06.18)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 노임준 대한민국 인천 남구
2 신백균 대한민국 인천 연수구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 인천광역시 미추홀구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.06.18 수리 (Accepted) 1-1-2012-0482517-71
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.05.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.06.05 수리 (Accepted) 9-1-2013-0042612-01
4 등록결정서
Decision to grant		 2013.07.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0521724-56
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
다층형 나노발전기의 제조방법에 있어서, 기판상에 수직 방향으로 복수의 시드층을 일정 간격으로 배열하는 단계; 상기 시드층이 배열된 상기 기판을 미리 정해진 일정 각도로 기울이는 단계; 기울어진 상기 기판에 스퍼터링법을 이용하여 전극입자를 도포하여 각각의 상기 시드층의 일측면에 전극층을 형성하는 단계; 및 상기 기판을 다시 수평으로 하고 각각의 상기 시드층의 상기 전극층이 형성된 면의 반대측으로부터 나노와이어를 성장시키는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 다층형 나노발전기의 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 기판은, 유리나 실리콘으로 이루어진 기판, 또는, PET를 포함하는 플렉서블 기판을 사용하는 것을 특징으로 하는 다층형 나노발전기의 제조방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 시드층은, AZO(Aluminium doped ZnO)를 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 다층형 나노발전기의 제조방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 전극층을 형성하는 단계는, 기울어진 상기 기판상에 Au 또는 Al 입자를 스퍼터링법을 이용하여 도포함으로써 상기 시드층의 일측면에만 상기 전극층을 형성하는 것을 특징으로 하는 다층형 나노발전기의 제조방법
5 5
제 1항에 있어서, 상기 나노와이어를 성장시키는 단계는, 상기 시드층의 상기 전극층이 형성된 면의 반대측으로부터 상기 나노와이어를 성장시키는 것을 특징으로 하는 다층형 나노발전기의 제조방법
6 6
제 1항에 있어서, 상기 나노와이어를 성장시키는 단계는, 상기 나노와이어가 상기 시드층의 상기 전극층이 형성된 면의 반대측으로부터 성장하여 이웃하는 다른 시드층의 전극층에 도달할 때까지 상기 나노와이어를 성장시키는 것을 특징으로 하는 다층형 나노발전기의 제조방법
7 7
다층형 나노발전기에 있어서, 청구항 1항 내지 6항 중 어느 하나 항에 기재된 방법을 이용하여 제조된 것을 특징으로 하는 다층형 나노발전기
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 인하대학교 산학협력단 기본연구 래터럴 구조의 고출력 자가발전 나노소자