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마이크로 로봇에 있어서,소정 재질의 플레이트; 및상기 플레이트에 매트릭스 형태로 복수개를 배열하여 외부에서 전송되는 AC자기장에 따라 선택적으로 자기 변형되어 플레이트를 이동시키는 자기변형박막들;을 구비한 것을 특징으로 하는 자기변형 현상을 이용한 초소형 이동체
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청구항 1에 있어서,상기 자기변형박막들로 소정 주파수의 AC자기장을 전송하여 자기변형박막들의 길이를 변형시키는 원격조정기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 자기변형 현상을 이용한 초소형 이동체
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 플레이트는 반도체기판 또는 폴리이미드필름인 것을 특징으로 하는 자기변형 현상을 이용한 초소형 이동체
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 자기변형박막들은, 인접하는 박막들과 서로 다른 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 자기변형 현상을 이용한 초소형 이동체
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 자기변형박막들은, 인접하는 박막들과 자기변형되는 공명주파수가 서로 다르게 형성되는 것을 특징으로 하는 자기변형 현상을 이용한 초소형 이동체
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 자기변형박막들은, 인접하는 박막들과 자기변형되는 방향이 서로 다르게 형성되되, 상기 자기변형 방향은 X축 또는 Y축 방향인 것을 특징으로 하는 자기변형 현상을 이용한 초소형 이동체
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 자기변형박막들은 스퍼터링 방식에 의해 플레이트 상에 증착 형성되는 것을 특징으로 하는 자기변형 현상을 이용한 초소형 이동체
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 자기변형박막들은, TbDyFe, Tb-Fe, Sm-Fe 및 Terfenol 재질 중에서 선택 사용되는 것을 특징으로 하는 자기변형 현상을 이용한 초소형 이동체
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