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내부 삽입형 유도 결합 플라즈마 화학 기상 증착 시스템

  • 기술번호 : KST2015158759
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 내부 삽입형 유도 결합 플라즈마 화학 기상 증착 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 온도 제한으로 증착이 불가능했던 플라스틱, 렌즈 등을 증착할 수 있는 내부 삽입형 유도 결합 플라즈마 화학 기상 증착 시스템에 관한 것이다.본 발명은 화학적 기상 증착 시스템에 있어서, 내부 압력을 조정하기 위한 진공 수단이 연결되어 반응 공간을 제공하는 챔버와; 상기 챔버의 내측 일측에 설치되어 반응 소스를 균일한 분포로 공급하는 적어도 1개의 반응 소스 분사기와; 상기 챔버의 타측에 설치되어 반응 가스를 공급하는 적어도 1개의 반응 가스 분사기와; 상기 반응 소스 분사기 및 반응 가스 분사기의 아래에 설치되어 전자기장을 형성하여 상기 반응 소스 분사기 및 반응 가스 분사기를 통하여 공급되는 반응 소스 및 반응 가스를 플라즈마 상태로 변화시켜 주는 RFI 코일과; 상기 RFI 코일에 의하여 생성된 플라즈마가 증착되는 기판이 설치되어 가열시켜 주는 증착대를 포함하는 것을 특징으로 하는 내부 삽입형 유도 결합 플라즈마 화학 기상 증착 시스템을 제공한다.화학 기상 증착 시스템, RFI 코일, 플라즈마
Int. CL C23C 16/44 (2006.01)
CPC C23C 16/509(2013.01) C23C 16/509(2013.01) C23C 16/509(2013.01)
출원번호/일자 1020020020478 (2002.04.15)
출원인 재단법인서울대학교산학협력재단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2003-0082003 (2003.10.22) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.04.15)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이정중 대한민국 서울시 양천구
2 이동각 대한민국 서울특별시관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이재화 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 덕천빌딩 *층 이재화특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.04.15 수리 (Accepted) 1-1-2002-0112249-61
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.10.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.11.17 수리 (Accepted) 9-1-2003-0054860-97
4 출원인변경신고서
Applicant change Notification		 2004.04.21 수리 (Accepted) 1-1-2004-5062918-09
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.06.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0238980-55
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2004.08.17 수리 (Accepted) 1-1-2004-0367836-34
7 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 2004.08.17 수리 (Accepted) 1-1-2004-5130688-10
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2005.01.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0025863-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2008-5015497-73
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.08.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5100909-62
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5036045-28
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

화학적 기상 증착 시스템에 있어서,

내부 압력을 조정하기 위한 진공 수단이 연결되어 반응 공간을 제공하는 챔버와;

상기 챔버의 내측 일측에 설치되어 반응 소스를 균일한 분포로 공급하는 적어도 1개의 반응 소스 분사기와;

상기 챔버의 타측에 설치되어 반응 가스를 공급하는 적어도 1개의 반응 가스 분사기와;

상기 반응 소스 분사기 및 반응 가스 분사기의 아래에 설치되어 전자기장을 형성하여 상기 반응 소스 분사기 및 반응 가스 분사기를 통하여 공급되는 반응 소스 및 반응 가스를 플라즈마 상태로 변화시켜 주는 RFI 코일과;

상기 RFI 코일에 의하여 생성된 플라즈마가 증착되는 기판이 설치되어 가열시켜 주는 증착대를 포함하는 것을 특징으로 하는 내부 삽입형 유도결합 플라즈마 화학 기상 증착 시스템

2 2

제 1항에 있어서, 상기 반응 소스 분사기 및 반응 가스 분사기는 공급되는 반응 소스 및 반응 가스의 기화에 의한 응축을 방지하기 위한 가열 수단이 장착된 가스 라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 내부 삽입형 유도결합 플라즈마 화학 기상 증착 시스템

3 3

제 1항에 있어서, 상기 RFI 코일은 전기 전도성 및 열 전도성이 우수한 금속 재질의 관으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 내부 삽입형 유도결합 플라즈마 화학 기상 증착 시스템

4 4

제 3항에 있어서, 상기 RFI 코일은 과열을 방지하기 위한 냉매를 공급해 주는 냉각 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 내부 삽입형 유도결합 플라즈마 화학 기상 증착 시스템

5 5

제 1∼4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 반응 소스 분사기와 반응 가스 분사기는 원형으로 이루어지고, 상기 RFI 코일은 적어도 1번 권선된 코일 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 내부 삽입형 유도결합 플라즈마 화학 기상 증착 시스템

6 6

제 5항에 있어서, 상기 반응 소스 분사기 및 반응 가스 분사기와 상기 RFI 코일은 서로 평행하게 설치되어, 플라즈마의 중심이 기판에 대하여 수직 방향으로 작용하는 것을 특징으로 하는 내부 삽입형 유도결합 플라즈마 화학 기상 증착 시스템

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.