상면에 전극이 형성된 기판을 준비하고, 상기 기판 위에 압전상수를 측정하기 위한 압전체 시편을 형성하고, 상기 시편 위에 또 다른 전극을 형성하여 기판/시편 결합체를 준비하고;

상기 기판/시편 결합체를 밀폐된 챔버의 중앙부에 위치시키고;

상기 기판의 하부면에 스트레인 게이지를 부착하고;

상기 챔버 상부 측벽 및 하부 측벽으로부터 챔버 내부로 가스를 공급하여 시편 표면에 수직으로 압력을 가하면서 압력 변화량을 측정하고;

상기 두 전극으로부터 압력의 변화에 따른 시편 내부의 전하량 변화를 측정하고;

상기 스트레인 게이지로부터 압력의 변화에 따른 시편 표면의 스트레인 변화를 측정하고;

측정된 값들로부터 다음의 식

ΔQ/A = d33 ΔP - 2d31 Y Δεr

(여기서, A는 상부전극의 면적, ΔP는 챔버내의 압력의 변화, ΔQ는 압력의 변화에 의해 유도된 전하의 변화량, Δεr는 스트레인의 변화량, Y는 압전체 시편의 탄성계수, d33는 전계와 변위가 같은 방향인 경우에 대한 압전상수, d31는 전계와 변위가 서로 수직인 경우에 대한 압전상수)

제1항에 있어서, 상기 시편은 벌크인 것을 특징으로 하는 변위 측정 공압법에 의한 압전상수 측정방법

제1항에 있어서, 상기 시편은 박막인 것을 특징으로 하는 변위 측정 공압법에 의한 압전상수 측정방법

제2항 또는 제3항에 있어서, 다음의 식

d33 = d33'- 2d31Ymat(νsub/Ysub - νmat/Ymat)

(여기서, Ysub와 Ymat는 각각 기판과 압전체 시편의 탄성계수, νsub와 νmat는 각각 기판과 압전체 시편의 포아송비, d33는 유효압전상수, d33'는 실제압전상수)

에 의하여 유효압전상수로부터 실제압전상수를 구하는 것을 특징으로 하는 변위 측정 공압법에 의한 압전상수 측정방법

외부와 밀폐시키는 챔버;와

상기 챔버 내부에 설치되며 기판과 기판 상면에 형성되는 압전체 시편으로 구성되는 기판/시편 결합체;와

상기 기판과 시편 사이에 형성된 하부 전극;과