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항전기장(coercive field)이 Ec1 인 제1세라믹 압전층;및상기 제1세라믹 압전층과 접해있고, 항전기장이 상기 Ec1과는 다른 값의 Ec2 인 제2세라믹 압전층으로 구성되는 액츄에이터로서,상기 제1세라믹 압전층의 분극 방향과 상기 제2세라믹 압전층의 분극 방향이 서로 반대가 되도록 상기 제1세라믹 압전층의 항전기장 Ec1 및 제2세라믹 압전층의 항전기장 Ec2 이 결정되고, 전기장의 인가에 의하여 어느 하나의 압전층은 수축하고 이와 동시에 다른 압전층은 팽창하는 것을 특징으로 하는 분극 방향이 서로 반대인 압전-압전 세라믹 액츄에이터
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제1항에 있어서, 상기 액츄에이터는 캔틸레버 형태인 것을 특징으로 하는 분극 방향이 서로 반대인 압전-압전 세라믹 액츄에이터
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제1항에 있어서, 상기 액츄에이터의 두께는 0
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제1항에 있어서, 제1세라믹 압전층과 제2세라믹 압전층의 두께는 동일한 것을 특징으로 하는 분극 방향이 서로 반대인 압전-압전 세라믹 액츄에이터
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제1항에 있어서, 상기 Ec1 및 Ec2 중 큰 값에 해당하는 전기장이 인가될 때 상기 액츄에이터의 변위가 최대인 것을 특징으로 하는 분극 방향이 서로 반대인 압전-압전 세라믹 액츄에이터
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항전기장이 Ec1 인 제1세라믹 압전 분말을 몰드에 넣고 일정한 두께가 되도록 일축 가압하여 제1압전층을 형성하고;항전기장이 상기 Ec1 과는 다른 값의 Ec2 인 제2세라믹 압전 분말을 몰드 내 상기 제1압전층 상면에 넣고 일정한 두께가 되도록 분포시켜 제2압전층을 배치시키고, 몰드내에서 두 압전층을 일축 가압하여 두 압전층을 일체로 형성하고; 일체로 된 두 압전층을 동시에 소결하는 것으로 구성되며,상기 항전기장 Ec1 및 Ec2 은 상기 제1압전층의 분극 방향과 상기 제2압전층의 분극 방향이 서로 반대가 되도록 결정되며, 전기장의 인가에 의하여 어느 하나의 압전층은 수축하고 이와 동시에 다른 압전층은 팽창하는 것을 특징으로 하는분극 방향이 서로 반대인 압전-압전 세라믹 액츄에이터 제조방법
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제6항에 있어서, 액츄에이터에 전기장을 가하여 상기 두 압전층을 동일한 방향으로 완전히 분극시키고, 하나의 층의 Ec 보다는 크고 다른 층의 Ec 보다는 작은 범위의 전기장을 가하여 Ec가 작은 층의 분극을 변화시킴으로써 두 압전층의 분극 방향이 서로 반대가 되도록 하는 것을 특징으로 하는 분극 방향이 서로 반대인 압전-압전 세라믹 액츄에이터 제조방법
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제6항에 있어서, 상기 액츄에이터의 두께는 0
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