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고분자 필름, 상기 고분자 필름 상에 바(bar) 형태로 소정 간격 이격되어 배치된 다수의 상부도전층 패턴들, 및 상기 상부도전층 패턴들의 양단의 하부에 상기 고분자 필름을 관통하여 형성된 도전성 콘택플러그로 구성된 상부 고분자 테이프; 및 기판, 및 상기 기판 상에 바(bar) 형태로 소정 간격 이격되어 배치된 다수의 하부도전층 패턴들로 구성되는 하부기판을 포함하며, 상기 하부도전층 패턴들과 상기 상부도전층 패턴들은 상기 도전성 콘택플러그를 통하여 전기적으로 연결되어 있으며, 상기 고분자 필름 내부에는 마크네틱 코어가 내장되어 있는 것을 특징으로 하는 인덕터
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고분자 필름, 상기 고분자 필름 상에 바(bar) 형태로 소정 간격 이격되어 배치된 다수의 상부도전층 패턴들, 및 상기 상부도전층 패턴들의 양단 하부에서 상기 고분자 필름을 관통하는 도전성 콘택플러그를 포함하는 상부 고분자 테이프를 형성하는 단계; 기판, 및 상기 기판 상에 바(bar) 형태로 소정 간격 이격되어 배치된 다수의 하부도전층 패턴들을 포함하는 하부기판을 형성하는 단계; 및 상기 상부 고분자 테이프와 상기 하부 기판을 결합하는 단계를 포함하는 인덕터의 제조방법
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제 3 항에 있어서, 상기 상부 고분자 테이프를 형성하는 단계는, 고분자필름을 준비하는 단계; 상기 고분자필름 상에 바 형상의 상부도전층 패턴을 형성하는 단계; 상기 상부도전층 패턴 단부 하부의 상기 고분자필름을 관통하는 도전성 콘택플러그를 형성하는 단계; 및 상기 콘택플러그 상에 범프를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인덕터의 제조방법
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제 3 항에 있어서, 상기 상부 고분자 테이프를 형성하는 단계는, 금속호일을 준비하는 단계; 상기 금속호일 상에 고분자필름을 형성하는 단계; 상기 금속호일을 패터닝하여 상부도전층 패턴을 형성하는 단계; 상기 상부도전층 패턴 단부 하부의 상기 고분자필름을 관통하는 도전성 콘택플러그를 형성하는 단계; 및 상기 콘택플러그 상에 범프를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인덕터의 제조방법
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제 5 항에 있어서, 상기 고분자필름에는 마그네틱 코어가 내장되어 있는 것을 특징으로 하는 인덕터의 제조방법
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제 5 항에 있어서, 상기 금속호일 상에 고분자필름을 형성하는 단계는, 상기 금속호일 상에 액상의 고분자필름을 도포하고 경화시켜서 형성하는 것을 특징으로 하는 인덕터의 제조방법
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제 5 항에 있어서, 상기 금속호일 상에 고분자필름을 형성하는 단계는, 상기 금속호일과 고분자필름을 접착제를 사용하여 부착시키는 것을 특징으로하는 인덕터의 제조방법
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제 3 항에 있어서, 상기 하부 기판을 형성하는 단계는, 기판 상에 하부도전층을 형성하는 단계; 및 상기 하부도전층을 패터닝하여 하부도전층 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인덕터의 제조방법
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제 3 항에 있어서, 상기 하부 기판을 형성하는 단계는, 기판 상에 절연층을 형성하는 단계; 상기 절연층 내에 트렌치를 형성하는 단계; 및 상기 트렌치에 도전물질로 채워 하부도전층 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인덕터의 제조방법
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제 3 항에 있어서, 상기 하부 기판을 형성하는 단계는, 기판 상에 절연층을 형성하는 단계; 상기 절연층 내에 트렌치를 형성하는 단계; 및 상기 트렌치에 도전물질로 채워 하부도전층 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인덕터의 제조방법
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