| 1 |
1
원통형의 용기로서 용기의 벽내에 삽입되어, 외부로 인출되는 유도코일을 통해 플라즈마의 생성을 위한 고주파 전력이 공급되는 유도코일 구조체와; 상기 유도코일 구조체의 내부에 상기 유도코일 구조체와 동축으로 배치되어, 발생되는 플라즈마를 가두기 위한 가둠관을 포함하는 고주파 유도결합 플라즈마 토치로서, 상기 토치상부에 설치되어 상기 가둠관 내부로 반응물을 직접 공급하기 위한 모듈형 수랭식 주입기와; 상기 가둠관의 출구에 분리가능하게 부착되어 상기 가둠관을 고정하는 상부노즐과, 상기 상부노즐의 출구에 분리가능하게 부착되어 상기 상부노즐을 통과한 열플라즈마에 반응물을 공급하기 위한 반응물 주입구(41)가 형성된 하부노즐을 포함하는, 고주파 유도결합 플라즈마 토치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 모듈형 수랭식 주입기는 직접 가둠관 내부에 삽입되어 플라즈마의 고온부에 반응물을 제공하는 반응물 주입용 탐침과, 상기 탐침에 연결되어 고온 고열량의 열플라즈마로부터 탐침을 보호하기 위해 탐침 내부에 냉각수를 공급하고 반응에 필요한 반응물 및 반응물의 이송 기체를 탐침에 제공하기 위한 주입기 몸체로 구성되는데, 상기 탐침은, 한쪽이 막힌 소정길이의 관으로 된 탐침외관과; 상기 탐침외관과 동축으로 상기 탐침외관을 관통하여 외부로부터 주입되는 반응물을 주입하기 위한 반응물 이송관과; 상기 반응물 이송관과 상기 탐침외관 사이에 형성된, 냉각수 안내관(17)으로서, 상기 반응물 이송관(16)의 외벽을 타고 주입된 냉각수가 상기 탐침외관(15)과 상기 냉각수 안내관 사이의 공간을 따라 나갈 수 있도록 상기 반응물 이송관(16) 및 상기 탐침외관(15)과 동축으로 배치되고 말단은 개방되어 있는, 냉각수 안내관(17)을 포함하여 구성되며, 상기 주입기 몸체는, 상기 반응물 이송관(16)이 삽입되어 반응물 공급부를 구성하는 상단부(3)와; 탐침 냉각수 입구(10)가 위치하며 상기 냉각수 안내관(17)에 연결되어 탐침 냉각수의 입력부를 구성하는 중단부(4)와; 탐침 냉각수 출구(11)가 위치하고 상기 탐침 외관(15)과 연결되어 탐침 냉각수의 출력부를 이루는 하단부(5)를 포함하여 구성되는, 고주파 유도결합 플라즈마 토치
|
| 3 |
3
제 1항에 있어서, 상기 가둠관은 상기 유도코일 구조체와 소정간격을 두고 형성되어 상기 유도코일 구조체와의 사이에 유로를 형성하는데 상기 유로의 일단은 상기 상부노즐에 형성된 냉각수 입구에 연결되고 상기 유로의 타단은 상기 토치의 상단에 형성된 냉각수 출구에 연결되는, 고주파 유도결합 플라즈마 토치
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 토치의 하단에는 반응물을 주입하기 위한 반응물주입부(19)가 형성되어 그 일단이 상기 상부노즐 내부에 형성된 반응물통로에 연결되며 상기 반응물 통로(40)는 반응물의 공급을 위한 하부노즐내에 형성된 반응물주입구(41)에 연결되며, 상기 상부노즐은 그 내벽을 따라 냉각수통로(38,39)가 형성되는데 그 양단은 각각 상기 토치의 하단에 형성된 노즐 냉각수 입구 및 노즐 냉각수 출구에 각각 연결되는, 고주파 유도결합 플라즈마 토치
|
| 5 |
4
제1항에 있어서, 상기 토치의 하단에는 반응물을 주입하기 위한 반응물주입부(19)가 형성되어 그 일단이 상기 상부노즐 내부에 형성된 반응물통로에 연결되며 상기 반응물 통로(40)는 반응물의 공급을 위한 하부노즐내에 형성된 반응물주입구(41)에 연결되며, 상기 상부노즐은 그 내벽을 따라 냉각수통로(38,39)가 형성되는데 그 양단은 각각 상기 토치의 하단에 형성된 노즐 냉각수 입구 및 노즐 냉각수 출구에 각각 연결되는, 고주파 유도결합 플라즈마 토치
|
