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마이크로미러

  • 기술번호 : KST2015158982
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 MEMS(MicroElectroMechanical Systems) 공정으로 제조되는 마이크로미러에 관한 것으로서, 본 발명에 의한 "휨 빔"을 가지는 콤-드라이브 수직 구동 구조의 마이크로미러는, 미러판과 서브스트레이트 기판을 연결하는 부분이 서브스트레이트 기판과 직접 연결되지 않고, "휨 빔"에 의하여 연결되며, 미러판의 한쪽에는 상기 "휨 빔"과 연결되어 구동되는 단일 세트의 이동 콤의 콤-핑거를 구비한다. 본 발명에 의한 마이크로미러에서는 콤-핑거가 구동되어 미러판을 움직이는 경우에도 미러판이 평평함을 유지하여 무한한 곡률 반경을 가지게 되어 양질의 경면(mirror surface)을 제공한다. 본 발명에 의한 마이크로미러는 미러판의 두께가 얇고 미러판의 크기가 커져도 곡률 반경에 영향을 주지 않아서 양질의 경면을 제공한다. 본 발명에서는 또한, "휨 빔"을 가지는 수직 콤-드라이브 구동 방식의 마이크로미러 구조를 SOI 웨이퍼에 구현하는 경우, 복수개의 마이크로미러를 배치하는 마이크로미러 어레이를 제시한다.
Int. CL B81B 7/00 (2006.01)
CPC B81B 7/02(2013.01) B81B 7/02(2013.01) B81B 7/02(2013.01)
출원번호/일자 1020010077395 (2001.12.07)
출원인 재단법인서울대학교산학협력재단
등록번호/일자 10-0485127-0000 (2005.04.14)
공개번호/일자 10-2003-0047024 (2003.06.18) 문서열기
공고번호/일자 (20050425) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.12.07)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조동일 대한민국 서울 서초구
2 구치완 대한민국 서울특별시송파구
3 정일우 대한민국 경상남도마산시회원구
4 김성욱 대한민국 서울특별시동작구
5 이상철 대한민국 서울특별시관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영철 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)
2 김 순 영 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (주)마이크로메카 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2001.12.07 수리 (Accepted) 1-1-2001-0323866-70
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0063872-05
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2003.08.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2003.09.19 수리 (Accepted) 9-1-2003-0043330-53
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2004.04.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0165445-50
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.05.18 수리 (Accepted) 4-1-2004-0021319-74
7 출원인변경신고서
Applicant change Notification
2004.05.18 수리 (Accepted) 1-1-2004-5076307-95
8 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2004.06.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0276494-11
9 대리인 선임 신고서
Notification of assignment of agent
2004.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2004-0276487-91
10 등록결정서
Decision to grant
2005.01.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0028920-46
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2008-5015497-73
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.08.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5100909-62
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5036045-28
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
미러판이 설치된 이동 콤의 수직 방향의 운동으로 이동 콤의 콤-핑거들이 고정 콤의 콤-핑거들 사이로 깍지끼듯이 삽입되는 수직 콤-드라이브 구동 구조의 마이크로미러에 있어서, 상기 미러판의 주위에 구비되고 상기 미러판과 연결되고, 이동 콤의 지지대와 연결되어 미러판을 지지하는 "휨 빔"; 및 상기 미러판의 한쪽에 구비되고, 상기 "휨 빔"과 연결되어 구동되는 단일 세트의 이동 콤의 콤-핑거를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로미러
2 2
제1항에 있어서, 상기 이동 콤에 설치된 미러판의 두께는 상기 이동콤의 콤-핑거의 두께보다 얇은 것임을 특징으로 하는 마이크로미러
3 3
제1항에 있어서, 상기 마이크로미러는 절연층을 포함하는 다중충 웨이퍼에 형성되는 것임을 특징으로 하는 마이크로미러
4 4
제3항에 있어서, 상기 다중충 웨이퍼는, SOI 웨이퍼임을 특징으로 하는 마이크로미러
5 5
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6 6
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7 7
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8 8
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9 9
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10 9
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.