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불활성 기체와 산소를 공급받고, 그 일면에 MgO 보호막이 형성되는 기판이 그 일측에 수직으로 설치되는 챔버와; 상기 챔버 내의 상기 기판의 대향 위치에 설치되어 Mg을 증발시켜 주는 보트와; 상기 기판과 보트 사이에 수직으로 설치되어, 상기 불활성 기체 및 산소와 Mg를 유도 결합에 의한 플라즈마 상태로 변환시켜 상기 기판의 일면에 MgO 보호막을 형성시켜 주는 유도 결합 플라즈마 코일; 및 상기 유도 결합 플라즈마 코일에 RF 파워를 공급해 주는 RF 파워 공급부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마를 이용한 PDP 기판의 MgO 보호막 증착 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 보트는 저항열을 이용하여 상기 Mg를 기화시켜 주도록 상기 보트에 내장된 히터와, 상기 히터에 전류를 공급하는 저항 가열부와, 상기 보트의 일측에 부착되어 온도를 측정하는 온도 센서를 더 포함하여 구성되고, 상기 저항 가열부는 Mg 소스의 증기압을 일정하게 유지하기 위하여 상기 온도 센서를 통하여 측정된 온도가 미리 설정된 일정 온도로 유지되도록 상기 히터에 공급되는 전류량을 제어하는 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마를 이용한 PDP 기판의 MgO 보호막 증착 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 유도 결합 플라즈마 코일은 그 내부에는 냉각을 위한 냉각수가 흐르며, 그 외부면은 절연 물질에 의하여 전기적으로 절연된 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마를 이용한 PDP 기판의 MgO 보호막 증착 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 기판은 상온으로 유지되는 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마를 이용한 PDP 기판의 MgO 보호막 증착 시스템
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MgO 보호막을 그 일면에 형성하고자 하는 기판을 챔버 내에 수직으로 설치하고, 상기 기판의 대향 위치에 설치되어 Mg를 기화시켜 주는 보트를 가열하여 Mg를 기화시키는 단계; 상기 챔버 내에 불활성 기체와 산소를 공급하는 단계; 및 상기 보트와 상기 기판사이에 수직으로 설치된 유도 결합 플라즈마 코일에 RF 파워를 인가하여 상기 Mg와 산소를 플라즈마 상태로 변환시켜 상기 기판의 일면에 MgO 보호막을 형성하는 단계 를 포함하는 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마를 이용한 PDP 기판의 MgO 보호막 증착 방법
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제 5항에 있어서, 상기 기판은 상온으로 유지하는 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마를 이용한 PDP 기판의 MgO 보호막 증착 방법
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제 5항에 있어서, 상기 기판은 상온으로 유지하는 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마를 이용한 PDP 기판의 MgO 보호막 증착 방법
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