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에폭시기와 산 발생제(PGA)에 의해 분해가 일어나는 산 분해형 열 가교제 0
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제1항에 있어서, 상기 산 분해형 열 가교제는 하기 구조식 1로 표기되는 것을 특징으로 하는 감광성 유기 반사 방지막 형성용 조성물
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제1항에 있어서, 상기 아크릴레이트 단량체 또는 메타 아트릴 레이트 단량체는 하기 구조식 2로 표기되는 것을 특징으로 하는 감광성 유기 반사 방지막 형성용 조성물
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제1항에 있어서, 상기 아크릴레이트 단량체는 안트라센 작용기를 가는 알킬 알콜과 아크릴산을 에스테르 반응시켜 형성되고, 상기 메타 아크릴레이트 단량체는 안트라센 작용기를 가는 알킬 알콜과 메타 아크릴산을 에스테르 반응시켜 형성된 것을 특징으로 하는 감광성 유기 반사 방지막 형성용 조성물
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제1항에 있어서, 상기 공중합체 수지는 에틸렌성 불포화 단량체, 산 분해형 보호기를 갖는 스트렌 단량체 및 안트라센을 포함하는 메타 아크릴레이트 단량체를 중합하여 형성된 중합체인 것을 특징으로 하는 감광성 유기 반사 방지막 형성용 조성물
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제1항에 있어서, 상기 공중합체 수지는 중량평균분자량이 3000 내지 15000이고, 분자량분포의 분산도가 2
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제1항에 있어서, 상기 조성물은 계면활성제를 더 포함하고, 상기 산 분해형 열 가교제 0
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8
식각 대상막 상에 에폭시기와 산 발생제(PGA)에 의해 분해가 일어나는 산 분해형 열 가교제 0
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제8항에 있어서, 상기 공중합체 수지는 에틸렌성 불포화 단량체, 산 분해형 보호기를 갖는 스트렌 단량체 및 안트라센을 포함하는 메타 아크릴레이트 단량체를 중합하여 형성된 중합체인 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법
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10
제8항에 있어서, 상기 공중합체 수지는 중량평균분자량이 3000 내지 15000이고, 분자량분포의 분산도가 2
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11
제8항에 있어서, 상기 조성물은 계면활성제를 더 포함하고, 상기 감광성 유기 반사 방지막 형성용 조성물은 상기 산 분해형 열 가교제 0
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