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전기 통전에 의하여 큰 저항 때문에 고온이 되는 고온부와, 상기 고온부에 연결부를 통하여 연결되며, 상기 고온부보다 매우 작은 저항 때문에 상기 고온부보다 저온이 되는 저온부로 형성되고, 전기 통전이 되면 상기 고온부측으로부터 저온부측으로 굴곡되도록 형성된 열 마이크로 구동기에 있어서,상기 고온부의 외면(外面)으로서 상기 저온부의 반대측에 순차적으로 적층된 절연층과 메탈층을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 열 마이크로 구동기
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제1항에 있어서,상기 절연층은 반도체 생성공정에 의하여 생성시킬 수 있는 물질로 이루어짐을 특징으로 하는 열 마이크로 구동기
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제1항에 있어서,상기 메탈층은 열팽창률이 높은 금속으로 이루어짐을 특징으로 하는 열 마이크로 구동기
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제1항에 있어서,상기 굴곡에 의한 변위는, 상기 고온부 및 저온부를 이루는 소재와 상기 메탈층을 이루는 소재의 최대허용온도와 항복응력 한계점 근방에서 최대변위가 됨을 특징으로 하는 열 마이크로 구동기
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광을 반사시키는 마이크로 미러에 있어서,상기 청구항 1에 기재된 구성으로 이루어진 열 마이크로 구동기의 메탈층으로 구성되는 광 반사부와, 상기 열 마이크로 구동기로 구성되는 반사각 조절부로 구성됨을 특징으로 하는 열 마이크로 구동기에 직접 형성된 마이크로 미러
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광을 반사시키는 마이크로 미러와, 상기 마이크로 미러를 지지한 채 소정 방향으로 이동가능한 슬라이더와, 상기 슬라이더에 충돌하여 상기 슬라이더와 미러를 소정 방향으로 이동시키는 열 마이크로 구동기를 가지는 마이크로 미러 작동기구에 있어서,상기 열 마이크로 구동기는 상기 청구항 1에 기재된 구성으로 이루어진 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 작동기구
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광의 입력부와, 상기 입력된 광을 반사시키기 위하여 소정의 위치이동을 하는 마이크로 미러를 포함하는 마이크로 미러 작동기구와, 상기 반사된 광이 출력되는 광의 출력부를 가지는 광 스위치에 있어서, 상기 마이크로 미러 작동기구는 상기 청구항 6에 기재된 구성으로 이루어진 것을 특징으로 하는 광 스위치
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광의 입력부와, 상기 입력된 광을 반사시키기 위하여 소정의 각도변동을 하는 마이크로 미러와, 상기 반사된 광이 출력되는 광의 출력부를 가지는 광 스위치에 있어서, 상기 마이크로 미러는 상기 청구항 5에 기재된 구성으로 이루어진 것을 특징으로 하는 광 스위치
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