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칼코겐화합물 박막을 위한 유기금속 화학기상증착용 전구체 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015159988
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 칼코겐화합물 반도체 박막을 형성하기 위해 사용되는 유기금속 화학기상증착용 전구체 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에서는 ⅢxⅢ'1-x-Ⅵ, Ⅲ-ⅥyⅥ'1-y 또는 ⅢxⅢ'1-x-ⅥyⅥ'1-y 와 같이 3족 금속원소와 칼코겐 원소의 조성비가 1:1인 합금형태의 화합물 박막(여기서, x,y0.5), 특히 3원 화합물인 I-Ⅲ-Ⅵ2 족 화합물을 모체로 하는 4원 화합물, 즉 I-ⅢxⅢ'1-x-Ⅵ2, I-Ⅲ-(ⅥyⅥ'1-y)2 또는 I-ⅢxⅢ'1-x-(ⅥyⅥ'1-y)2 박막(여기서, x,y0.5) 등과 같은 합금형태의 화합물 박막의 제조에 유용하게 사용될 수 있는 유기금속 화학기상증착용 전구체 및 그 제조방법을 제공한다.
Int. CL C23C 16/30 (2006.01.01) C07F 19/00 (2006.01.01)
CPC C23C 16/305(2013.01) C23C 16/305(2013.01)
출원번호/일자 1020070051633 (2007.05.28)
출원인 중앙대학교 산학협력단, 삼성전자주식회사, 재단법인서울대학교산학협력재단
등록번호/일자 10-0893744-0000 (2009.04.09)
공개번호/일자 10-2008-0104623 (2008.12.03) 문서열기
공고번호/일자 (20090417) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.05.28)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 중앙대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 동작구
2 삼성전자주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구
3 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최인환 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 웰 대한민국 서울특별시 서초구 방배로**길*, *~*층(방배동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 중앙대학교 산학협력단 대한민국 서울 동작구
2 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구
3 삼성전자주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.05.28 수리 (Accepted) 1-1-2007-0389789-05
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2008.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2008-0021602-92
3 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status		 2008.03.10 수리 (Accepted) 1-1-2008-0173644-74
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.04.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.05.13 수리 (Accepted) 9-1-2008-0027292-13
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.11.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0579084-63
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.11.25 수리 (Accepted) 1-1-2008-0812416-37
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.11.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0812424-03
9 등록결정서
Decision to grant		 2009.03.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0125651-16
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.07.20 수리 (Accepted) 4-1-2011-5148879-89
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.07.20 수리 (Accepted) 4-1-2011-5148883-62
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.21 수리 (Accepted) 4-1-2012-5132663-40
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000494-54
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.08.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5100909-62
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2014-5123944-33
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5036045-28
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.04 수리 (Accepted) 4-1-2018-5125629-51
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.29 수리 (Accepted) 4-1-2019-5151122-15
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.01 수리 (Accepted) 4-1-2019-5153932-16
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
Ⅲ족 금속원소와 Ⅵ족 칼코겐 원소 중 적어도 하나는 서로 다른 이종원소를 포함하는 하기 화학식 2로 표현되는 것을 특징으로 하는 칼코겐화합물 박막을 위한 유기금속 화학기상증착용 전구체
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 화학식 2로 표현되는 전구체에서 M은 M'과 서로 다른 Ⅲ족 금속원소이고, E는 E'과 같은 Ⅵ족 칼코겐 원소인 하기 화학식 3으로 표현되는 것임을 특징으로 하는 칼코겐화합물 박막을 위한 유기금속 화학기상증착용 전구체
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 화학식 2로 표현되는 전구체에서 M'은 M과 서로 같은 Ⅲ족 금속원소이고, E는 E'과 서로 다른 Ⅵ족 칼코겐 원소인 하기 화학식 4로 표현되는 것임을 특징으로 하는 칼코겐화합물 박막을 위한 유기금속 화학기상증착용 전구체
4 4
청구항 1에 있어서, 상기 화학식 2로 표현되는 전구체에서 M은 M'과 서로 다른 Ⅲ족 금속원소이고, E는 E'과 서로 다른 Ⅵ족 칼코겐 원소인 하기 화학식 5로 표현되는 것을 특징으로 하는 칼코겐화합물 박막을 위한 유기금속 화학기상증착용 전구체
5 5
알킬화금속과 알킬칼코겐올 화합물 중 적어도 하나는 서로 다른 두 종의 화합물을 사용하여, 용매 존재 하에서 서로 반응시킨 다음 분리 정제하여 하기 화학식 2로 표현되는 화합물을 제조하는 것임을 특징으로 하는 칼코겐화합물 박막을 위한 유기금속 화학기상증착용 전구체의 제조방법
6 6
청구항 5에 있어서, 하기 반응식 1에서와 같이 알킬칼코겐올 화합물 1당량과 서로 다른 두 종의 알킬화금속 각각 0
7 7
청구항 5에 있어서, 하기 반응식 2에서와 같이 디알킬디칼코겐 화합물 1당량과 서로 다른 두 종의 알킬화금속 각각 0
8 8
청구항 5에 있어서, 하기 반응식 3에서와 같이 서로 다른 두 종의 알킬칼코겐올 화합물 각각 0
9 9
청구항 5에 있어서, 하기 반응식 4에서와 같이 서로 다른 두 종의 디알킬디칼코겐 화합물 각각 0
10 10
청구항 5에 있어서, 하기 반응식 5에서와 같이 서로 다른 두 종의 알킬칼코겐올 화합물 각각 0
11 11
청구항 5에 있어서, 하기 반응식 6에서와 같이 서로 다른 두 종의 디알킬디칼코겐 화합물 각각 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 서울특별시 서울대학교 산학협력단 서울시 산학연 협력사업-기술기반구축사업 나노바이오 시스템 및 응용소재