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마이크로 미러 표면의 공간적 위치와 각도를 변화시키기 위한 미세 구동기에 있어서, 상기 미세 구동기는, 1 이상의 미러 구동기구에 의하여 이루어지고, 상기 미러 구동기구는, 상기 마이크로 미러의 일부를 지지하는 지지대와, 상기 지지대를 향하여 길게 뻗어서, 상기 지지대의 일단에 그 선단이 고정된 제1 구동기와, 상기 제1 구동기와 평행하게 상기 지지대를 향하여 길게 뻗어서, 상기 지지대의 타단에 그 선단이 고정된 제2 구동기로 구성되며, 상기 제1 구동기의 구동방향과 상기 제2 구동기의 구동방향은, 상기 마이크로 미러의 표면을 기준으로 하여 서로 역방향이고, 상기 제1 구동기와 상기 제2 구동기 중 어느 하나 이상의 구동에 의하여, 상기 지지대에 비틀림 변형이 발생되도록 구성됨을 특징으로 하는 큰 기울임 각을 갖는 마이크로 미러를 위한 비틀림형 미세 구동기
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마이크로 미러 표면의 공간적 위치와 각도를 변화시키기 위한 미세 구동기에 있어서, 상기 미세 구동기는, 2개의 미러 구동기구에 의하여 이루어지고, 상기 각 미러 구동기구는, 상기 마이크로 미러의 일부를 지지하는 지지대와, 상기 지지대를 향하여 길게 뻗어서, 상기 지지대의 일단에 그 선단이 고정된 제1 구동기와, 상기 제1 구동기와 평행하게 상기 지지대를 향하여 길게 뻗어서, 상기 지지대의 타단에 그 선단이 고정된 제2 구동기로 구성되며, 상기 양 미러 구동기구는, 상기 마이크로 미러의 표면을 기준으로 하여 서로 점대칭의 위치에 구비되고, 상기 각 미러 구동기구에 있어서, 상기 제1 구동기의 구동방향과 상기 제2 구동기의 구동방향은, 상기 마이크로 미러의 표면을 기준으로 하여 서로 역방향이고, 상기 양 미러 구동기구에 있어서, 상기 제1 구동기끼리의 구동방향은, 상기 마이크로 미러의 표면을 기준으로 하여 서로 동일방향이고, 상기 제2 구동기끼리의 구동방향은, 상기 마이크로 미러의 표면을 기준으로 하여 서로 동일방향이며, 상기 양 미러 구동기구의 상기 제1 구동기와 상기 제2 구동기 중 어느 하나 이상의 구동에 의하여, 상기 지지대에 비틀림 변형이 발생되도록 구성됨을 특징으로 하는 큰 기울임 각을 갖는 마이크로 미러를 위한 비틀림형 미세 구동기
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마이크로 미러 표면의 공간적 위치와 각도를 변화시키기 위한 미세 구동기에 있어서, 상기 미세 구동기는, 1 이상의 미러 구동기구에 의하여 이루어지고, 상기 미러 구동기구는, 상기 마이크로 미러의 일부를 일단에서 지지하는 제1 지지대와, 상기 제1 지지대를 향하여 길게 뻗어서, 상기 제1 지지대의 타단에 그 선단이 고정된 제1 구동기와, 상기 마이크로 미러의 표면을 기준으로 하여 상기 제1 지지대와 점대칭으로, 상기 마이크로 미러의 다른 일부를 일단에서 지지하는 제2 지지대와, 상기 마이크로 미러의 표면을 기준으로 하여 상기 제1 구동기와 점대칭으로, 상기 제1 구동기와 평행하게 상기 제2 지지대를 향하여 길게 뻗어서, 상기 제2 지지대의 타단에 그 선단이 고정된 제2 구동기로 구성되며, 상기 제1 구동기의 구동방향과 상기 제2 구동기의 구동방향은, 상기 마이크로 미러의 표면을 기준으로 하여 서로 역방향이고, 상기 제1 구동기와 상기 제2 구동기 중 어느 하나 이상의 구동에 의하여, 상기 지지대에 비틀림 변형이 발생되도록 구성됨을 특징으로 하는 큰 기울임 각을 갖는 마이크로 미러를 위한 비틀림형 미세 구동기
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청구항 2에 있어서, 상기 각 미러 구동기구를 구성하는 구동기들 중에서, 구동방향이 역방향인 구동기들은, 상기 마이크로 미러의 표면을 기준으로 서로 점대칭 위치에 구비됨을 특징으로 하는 큰 기울임 각을 갖는 마이크로 미러를 위한 비틀림형 미세 구동기
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청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서, 상기 미러 구동기구를 구성하는 구동기들 중에서, 적어도 하나 이상이 구동됨을 특징으로 하는 큰 기울임 각을 갖는 마이크로 미러를 위한 비틀림형 미세 구동기
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6
청구항 5에 있어서, 상기 하나의 미러 구동기구를 구성하는 구동기들이 모두 구동되는 경우에, 양 구동기에 인가되는 전압이 동일한 것을 특징으로 하는 큰 기울임 각을 갖는 마이크로 미러를 위한 비틀림형 미세 구동기
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7
청구항 5에 있어서, 상기 하나의 미러 구동기구를 구성하는 구동기들이 모두 구동되는 경우에, 양 구동기에 인가되는 전압이 서로 다른 것을 특징으로 하는 큰 기울임 각을 갖는 마이크로 미러를 위한 비틀림형 미세 구동기
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8
청구항 6에 있어서, 상기 하나의 미러 구동기구를 구성하는 구동기들에 구비된 전극부가 전기적으로 병렬연결되고, 이 병렬연결된 전극부에 구동전압이 공통으로 인가됨을 특징으로 하는 큰 기울임 각을 갖는 마이크로 미러를 위한 비틀림형 미세 구동기
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9
청구항 3에 있어서, 상기 제1 구동기 및 제2 구동기는, 상기 마이크로 미러 표면을 기준으로 하여 그 구동방향이 동일한 것을 특징으로 하는 큰 기울임 각을 갖는 마이크로 미러를 위한 비틀림형 미세 구동기
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