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마이크로일렉트로메카니컬 구조의 광스위치 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015160467
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 마이크로일렉트로메카니컬 구조로 제작된 반사거울의 스위칭 동작을 정밀하게 제어할 수 있는 광스위치 및 그 제조방법이 개시된다. 본 발명의 마이크로일렉트로메카니컬 구조의 광스위치는 탄성력을 갖는 스프링과 상기 스프링에 부착된 반사거울과 퍼멀로이로 구성되는 마이크로 기판과 상기 마이크로 기판과 근접하게 형성된 전자기장 발생기기로 구성된다. 제조방법으로는 고분자재료 양면에 반사거울과 퍼멀로이를 부착할 수 있으며, 폴리실리콘 또는 금속을 사용하는 경우에는 집적회로 공정기술을 사용할 수도 있다. 마이크로일렉트로메카니컬 구조, 광스위치, 반사거울, 광파이버, 퍼멀로이
Int. CL G02B 26/08 (2006.01)
CPC G02B 26/0833(2013.01) G02B 26/0833(2013.01)
출원번호/일자 1020030033325 (2003.05.26)
출원인 재단법인서울대학교산학협력재단
등록번호/일자 10-0552341-0000 (2006.02.08)
공개번호/일자 10-2004-0101642 (2004.12.03) 문서열기
공고번호/일자 (20060220) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.05.26)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이호영 대한민국 서울특별시 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김진원 대한민국 경기도 군포시 고산로 ***, ***호 진성국제특허법률사무소 (당정동, 맥시움빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2003.05.26 수리 (Accepted) 1-1-2003-0186050-85
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2004.10.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2004.11.19 수리 (Accepted) 9-1-2004-0071491-20
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2005.07.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0374862-67
5 의견서
Written Opinion
2005.09.29 수리 (Accepted) 1-1-2005-0548963-15
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2005.09.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0548996-11
7 등록결정서
Decision to grant
2006.02.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0071401-05
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2008-5015497-73
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.08.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5100909-62
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5036045-28
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번호 청구항
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탄성력을 갖는 스프링과 상기 스프링에 부착된 반사거울과 퍼멀로이로 구성되는 마이크로 기판; 및상기 마이크로 기판과 근접하게 형성된 자기장 발생기기를 포함하며, 상기 반사거울을 소정각도로 유지시키기 위한 걸림쇠를 더 설치한 것을 특징으로 하는 마이크로일렉트로메카니컬 구조의 광스위치
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고분자 재료를 평탄화하는 단계; 상기 고분자재료의 일면에 씨앗층을 형성하는 단계; 상기 고분자재료의 이면에 반사거울층을 형성하는 단계; 상기 씨앗층 상에 퍼멀로이를 형성하는 단계; 상기 퍼멀로이 및 반사거울층이 부착된 고분자재료를 절단하여 마이크로 기판을 형성하는 단계; 및 상기 마이크로 기판과 소정거리 이격되게 전자기장 발생기기를 위치하고 지지대로 연결하는 단계를 포함하는 마이크로일렉트로메카니컬 구조의 광스위치의 제조방법
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