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DLC 필름 코팅 물품, 그 제조 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015161577
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따른 DLC 필름 코팅 장치는, 불활성 가스가 주입되는 진공 챔버; 상기 진공 챔버 내부에 상호 대향 배치되는 흑연 타겟 및 모재; 상기 흑연 타겟 주위에 스퍼터링 효율 증가를 위한 자기장을 형성하는 자기장 형성 부재; 상기 모재에 바이어스 전압을 인가하는 바이어스 전원: 및 상기 모재의 표면에 복수의 서브층들로 이루어진 DLC(diamond-like carbon) 필름이 코팅되도록, 상기 바이어스 전압을 제어하는 바이어스 콘트롤러;를 포함한다.
Int. CL C23C 14/54 (2006.01) C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/06 (2006.01)
CPC C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01)
출원번호/일자 1020100034700 (2010.04.15)
출원인 경북대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1318762-0000 (2013.10.10)
공개번호/일자 10-2011-0115283 (2011.10.21) 문서열기
공고번호/일자 (20131017) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.08.19)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김석삼 대한민국 대구광역시 달서구
2 장영준 대한민국 대구광역시 동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이현수 대한민국 서울특별시 마포구 백범로 ***(신공덕동) 메트로디오빌빌딩 ****호(이현수상표특허법률사무소)
2 정홍식 대한민국 서울시 서초구 강남대로 *** 신덕빌딩 *층(나우특허법률사무소)
3 김태헌 대한민국 서울시 서초구 강남대로 *** 신덕빌딩 *층(나우특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대구광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.04.15 수리 (Accepted) 1-1-2010-0240202-16
2 [대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)
2011.03.29 수리 (Accepted) 1-1-2011-0227768-19
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.08.19 수리 (Accepted) 1-1-2011-0642265-34
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.06.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.06.21 수리 (Accepted) 9-1-2012-0049068-35
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.02.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0096754-67
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.04.12 수리 (Accepted) 1-1-2013-0319955-11
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.04.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0319956-56
9 등록결정서
Decision to grant
2013.07.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0529846-04
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2018-5051994-32
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136893-04
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
불활성 가스가 주입되는 진공 챔버;상기 진공 챔버 내부에 상호 대향 배치되는 흑연 타겟 및 모재;상기 흑연 타겟 주위에 스퍼터링 효율 증가를 위한 자기장을 형성하는 자기장 형성 부재;상기 모재에 바이어스 전압을 인가하는 바이어스 전원: 및상기 모재의 표면에 복수의 서브층들로 이루어진 DLC(diamond-like carbon) 필름이 코팅되도록, 상기 바이어스 전압을 제어하는 바이어스 콘트롤러;를 포함하며,상기 바이어스 콘트롤러는 서로 다른 값의 제1 바이어스 전압 및 제2 바이어스 전압을 교대로 발생시키도록 상기 바이어스 전원을 제어하는 것을 특징으로 하는 DLC 필름 코팅 장치
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삭제
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제1항에 있어서,상기 제1 바이어스 전압은 -200 V이고 상기 제2 바이어스 전압은 0 V 이며, 상기 제1 바이어스 전압과 상기 제2 바이어스 전압은 동일 시간 동안 지속되는 것을 특징으로 하는 DLC 필름 코팅 장치
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제1항에 있어서,상기 불활성 가스는 아르곤 가스이며, 상기 모재는 배향이 (100)인 실리콘 기판인 것을 특징으로 하는 DLC 필름 코팅 장치
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진공 챔버 내에 흑연 타겟과 마주하도록 모재를 배치하는 단계;상기 진공 챔버 내에 불활성 가스를 주입하는 단계; 및상기 흑연 타겟에는 일정값의 스퍼터링용 전압을 인가하며 상기 모재에는 시간에 따라 변동하는 바이어스 전압을 인가하는 단계;를 포함하며,상기 바이어스 전압을 인가하는 단계에서, 상기 모재에는 서로 다른 값의 제1 바이어스 전압 및 제2 바이어스 전압을 교대로 인가하는 것을 특징으로 하는 DLC 필름 코팅 방법
6 6
삭제
7 7
제5항에 있어서,상기 제1 바이어스 전압은 -200 V이고 상기 제2 바이어스 전압은 0 V 이며, 상기 제1 바이어스 전압과 상기 제2 바이어스 전압은 동일 시간 동안 지속되는 것을 특징으로 하는 DLC 필름 코팅 방법
8 8
삭제
9 9
삭제
10 10
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 경북대학교 IT융복합 산학공동 기술개발과제 레이저용 의료기 아티큘레이티드 암 저마찰 및 내구성 증대기술개발