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대상물을 연마 가공하는 연마장비에 있어서,
상기 연마장비의 각 구성요소들을 지지하고 보호하는 몸체부;
상기 대상물을 홀딩하는 정반과, 상기 정반을 구동시키는 제1 구동부를 포함하는 정반부;
대상물을 홀딩하는 척 및 대상물을 가공하는 연마휠을 선택적으로 착탈할 수 있는 스핀들과 상기 스핀들을 구동하는 제2 구동부를 포함하는 스핀들부;
상기 스핀들부를 이송하여 상기 대상물의 연마 깊이를 조절하는 스핀들 이송부;
그라인딩 작업, 래핑 작업 및 폴리싱 작업 중 하나의 작업을 선택할 수 있는 메뉴 화면을 구비하는 사용자입력부; 및
상기 사용자입력부를 통해 그라인딩 작업, 래핑 작업 및 폴리싱 작업 중 하나가 선택된 경우, 상기 선택된 작업에 대응하도록 연마장비의 각 구성요소들을 제어하는 제어부;를
구비하는 것을 특징으로 하는 연마장비
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제1항에 있어서, 상기 제어부는,
상기 스핀들에 상기 연마휠이 장착되어있고 상기 사용자입력부의 메뉴 화면을 통해 그라인딩 작업이 선택된 경우, 상기 정반부의 정반이 상기 대상물을 홀딩하도록 제어하고, 상기 스핀들부의 연마휠이 상기 대상물을 연마하도록 상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부를 제어하는 제1 제어루틴과,
상기 스핀들에 상기 척이 장착되어있고 상기 사용자입력부의 메뉴 화면을 통해 래핑 작업이 선택된 경우, 상기 척이 상기 대상물을 홀딩하도록 제어하고, 상기 정반부의 정반이 상기 대상물을 연마하도록 상기 제1 구동부 및 제2 구동부를 제어하는 제2 제어루틴과,
상기 스핀들에 상기 척이 장착되어 있고 상기 사용자입력부의 메뉴 화면을 통해 폴리싱 작업이 선택된 경우, 상기 정반이 상기 폴리싱 패드판을 홀딩하도록 제어하고 상기 척이 상기 대상물을 홀딩하도록 제어하며 상기 홀딩된 폴리싱 패드판이 상기 대상물을 연마하도록 상기 제1 구동부 및 제2 구동부를 제어하는 제3 제어루틴을 구비하는 것을 특징으로 하는 연마장비
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제1항에 있어서,
상기 몸체부는 주물로 형성된 프레임을 포함하고, 상기 프레임의 리브는 육각형의 벌집 모양으로 형성된 것을 특징으로 하는 연마장비
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4
제1항에 있어서,
상기 정반부는,
제1 구동모터와, 상기 제1 구동모터와 상기 정반을 연결하여 동력을 전달하는 정반 구동축을 구비하고,
상기 정반 구동축에 축 방향으로 제1 중공이 형성되어 있고,
상기 제1 중공은, 상기 정반이 상기 대상물을 흡착하도록 내부의 공기를 외부로 유출하는 통로 역할을 하거나 상기 정반으로 냉각제를 공급하는 냉각제 공급 통로 역할을 하는 것을 특징으로 하는 연마장비
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5
제4항에 있어서,
상기 정반부는,
상기 제1 중공에 공기 또는 냉각제를 통과시키기 위한 배관과 상기 배관의 꼬임을 방지하기 위한 로터리조인트밸브가 상기 정반 구동축의 하부에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 연마장비
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6
제4항에 있어서,
상기 정반부의 정반은 공기 또는 냉각제를 투과시키는 다공질 세라믹으로 마련되는 것을 특징으로 하는 연마장비
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7
제1항에 있어서,
상기 스핀들부는,
제2 구동모터와, 상기 제2 구동모터와 상기 스핀들을 연결하여 동력을 전달하는 타이밍벨트를 구비하고,
상기 스핀들에 축 방향으로 제2 중공이 형성되어 있고,
상기 제2 중공은, 상기 스핀들에 상기 척이 장착되어 있고 상기 장착된 척이 상기 대상물을 홀딩하는 경우 상기 척이 상기 대상물을 흡착하도록 내부의 공기를 외부로 유출하는 통로가 되고, 연마 작업이 수행되는 경우 슬러리를 공급하는 통로가 되는 것을 특징으로 하는 연마장비
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8
제7항에 있어서,
상기 스핀들부는,
상기 스핀들의 축방향 변동을 방지하도록 상기 스핀들의 상부측 및 하부측에 앵귤러 볼베어링이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 연마장비
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9
제1항에 있어서,
상기 스핀들부는 다수개로 마련되고, 상기 다수개의 스핀들부는 상기 스핀들 이송부에 의해 일체로서 조절되는 것을 특징으로 하는 연마장비
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10
제1항에 있어서,
상기 스핀들 이송부는,
제3 구동부와, 제3 구동부로부터 전달된 동력을 상기 스핀들에 전달하여 상기 스핀들을 축 방향으로 이동시키는 이송모듈을 포함하여 상기 연마 깊이를 조절하는 것을 특징으로 하는 연마장비
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11
제10항에 있어서,
상기 스핀들 이송부는,
상기 스핀들의 축 방향 이동거리를 측정하기 위해 상기 제3 구동부에 조립되는 리니어스케일과, 상기 스핀들을 정확하게 정지시키기 위한 전자클러치를 구비하고,
상기 제어부는, 상기 사용자입력부를 통해 가공하고자 하는 상기 대상물의 연마 깊이가 입력된 경우, 상기 리니어스케일에 의해 측정된 상기 스핀들의 축 방향 이동거리가 상기 입력된 연마 깊이에 대응하도록 상기 제3 구동부 및 상기 이송모듈 및 상기 전자클러치를 제어하는 것을 특징으로 하는 연마장비
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12
제1항에 있어서,
상기 연마장비는, 상기 스핀들의 연마 깊이를 수동으로 조절하는 미세조정 핸들부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 연마장비
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13
제1항에 있어서,
상기 연마장비는,
상기 정반의 표면의 평탄도가 균일하게 되도록 상기 정반의 표면을 가공하기 위한 페이싱부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 연마장비
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14
제13항에 있어서,
상기 페이싱부는,
페이싱 구동모터와, 상기 정반의 표면을 가공하기 위해 장착된 페이싱 연마 공구와, 상기 페이싱 구동모터의 운동에 의해 상기 페이싱 연마 공구를 수평으로 이동시키는 수평이송모듈과, 상기 페이싱 연마 공구를 수직으로 이동시키는 수직조절모듈을 구비하고,
상기 제어부는,
상기 사용자입력부를 통해 상기 정반의 평탄화 작업이 선택된 경우 상기 페이싱 연마 공구가 상기 정반의 표면 중 불균일 지점으로 이동하도록 상기 페이싱 구동모터를 제어하는 페이싱 구동루틴과,
상기 구동루틴의 제어에 의해 상기 페이싱 연마 공구가 상기 불균일 지점으로 이동되고 사용자가 수직조절모듈을 이용하여 상기 페이싱 연마 공구를 상기 불균일 지점으로 수직 이동시킨 경우, 상기 제어부는 상기 연마 공구가 상기 불균일 지점을 연마하도록 상기 정반부의 제1 구동부를 제어하여 상기 정반을 구동시키는 평탄화 구동루틴을 포함하는 것을 특징으로 하는 연마장비
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