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접지와 연결되고 도체로 이루어진 외벽으로 구성되는 공정 챔버;
상기 공정 챔버로부터 절연되어 그 내부에 장착되는 가공물 지지대;
상기 가공물 지지대와 연결되는 전원공급부;
상기 공정 챔버의 밀봉 장치를 통해 밀봉되어 내장되는 한 개 이상의 RF 안테나;
상기 RF 안테나는 내부에 안테나 도체가 구성되고, 이 안테나 도체와 같은 축에서 절연 공간에 의해 분리되어 안테나 도체의 외부를 나선형으로 감싸는 용량성 결합 전극이 구성되고, 상기 안테나 도체와 용량성 결합 전극을 둘러싸는 절연 진공관이 동일한 축으로 구성되며;
상기 안테나 도체의 양단에 매칭 네트워크를 통해 연결되며, 접지와도 연결되는 RF 전원공급장치;
상기 용량성 결합 전극과 연결된 스위치를 통해 연결 구성되는 CCE 전원공급장치와 접지;
를 포함하여 구성되고,
상기 용량성 결합 전극은 연결된 스위치를 통해 CCE 전원공급장치와 접지 중 어느 하나에 연결되거나, 또는 CCE 전원공급장치와 접지 둘 모두와 분리되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 챔버
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청구항 1에 있어서,
상기 RF 안테나는 선형 또는 원형으로 마련되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 챔버
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청구항 1에 있어서,
상기 공정 챔버에 래버린스 쉴드가 더 포함되어 장착되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 챔버
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청구항 1에 있어서,
상기 공정 챔버에 증착용 재료가 더 포함되어 장착되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 챔버
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청구항 1에 있어서,
상기 공정 챔버 내부에 한 개 이상의 가스 샤워가 더 포함되어 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 챔버
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청구항 1에 있어서,
상기 공정 챔버 내부의 가스를 유출할 수 있는 펌프가 더 포함되어 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 챔버
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청구항 1에 있어서,
상기 공정 챔버 내부에 가공물을 선형 이동시킬 수 있는 가이드가 더 포함되어 장착되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 챔버
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내부에 안테나 도체가 구성되고, 이 안테나 도체와 같은 축에서 절연 공간에 의해 분리되어 안테나 도체의 외부를 나선형으로 감싸는 용량성 결합 전극이 구성되고, 상기 안테나 도체와 용량성 결합 전극을 둘러싸는 절연 진공관이 동일한 축으로 구성되며,
상기 용량성 결합 전극은 연결된 스위치를 통해 CCE 전원공급장치와 접지 중 어느 하나에 연결되거나, 또는 CCE 전원공급장치와 접지 둘 모두와 분리되는 것을 특징으로 하는 유도성 결합 플라즈마의 내장형 RF 안테나
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