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실리콘 웨이퍼에 소정 결정 방향으로의 비등방적 습식공정에 의해 2차원 배열의 광결정이 포함된 광결정 구조를 형성하고,
상기 비등방적 습식공정으로 형성한 실리콘 광결정 구조 상에, 상기 결정 방향으로의 전자기파 손실을 막아주기 위하여 도전성이 있는 물질로 코팅한 덮개를 형성하는 것을 특징으로 하는 광결정 제작방법
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제1항에 있어서,
상기 실리콘 웨이퍼 밑면에 도전성 물질을 코팅하거나, 상기 광결정의 옆면 이외의 부분에 도전성이 있는 물질로 코팅한 것을 특징으로 하는 광결정 제작방법
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제1 실리콘 웨이퍼의 밑면에 도전성 물질을 코팅한 제2 실리콘 웨이퍼를 접합하고,
상기 제1 실리콘 웨이퍼에 소정 결정 방향으로의 비등방적 습식공정에 의해 2차원 배열의 광결정이 포함된 광결정 구조를 형성하며,
상기 비등방적 습식공정으로 형성한 상기 제1 실리콘 웨이퍼의 실리콘 광결정 구조 상에, 상기 결정 방향으로의 전자기파 손실을 막아주기 위하여 도전성이 있는 물질로 코팅한 덮개를 형성하는 것을 특징으로 하는 광결정 제작방법
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 비등방적 습식공정은, (100) 결정 방향으로의 습식공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 광결정 제작방법
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5
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 광결정 구조를 형성한 후에, 금속 광결정 특성을 위하여 상기 광결정의 옆면과 상기 광결정의 옆면 이외의 부분 모두에 도전성이 있는 물질로 코팅한 것을 특징으로 하는 광결정 제작방법
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6
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항의 방법에 따라 제작된 광결정 수동소자
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제6항에 있어서,
상기 광결정은 원형(circle), 정방형(square) 또는 삼각형(triangular) 형태인 것을 특징으로 하는 광결정 수동소자
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제6항에 있어서, 상기 광결정은 양각 또는 음각 형태를 포함하는 것을 특징으로 하는 광결정 수동소자
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제6항에 있어서,
상기 광결정은 전자기파 신호의 처리 또는 송수신을 위한 광도파로, 공진기, 필터, 또는 안테나를 포함하는 것을 특징으로 하는 광결정 수동소자
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