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세라믹 테이프(100)에 내부 전극막(200)을 형성한 적층체를 적층하여 구성되는 적층형 세라믹 소자의 공극을 밀봉하는 방법에 있어서,
세라믹분말(400)이 분산되어 있는 용매 내에서 적층체를 적층하여 이루어진 적층형 세라믹 소자의 전극막(200)에 플러스 전원을 연결하고 용매 내에 위치하는 상대전극(300)에 마이너스 전원을 연결하여 전기영동증착에 의해 상기 세라믹분말(400)을 전극막(200) 측으로 이동시켜 전극막(200)과 세라믹 테이프(100)의 높이 차에 의해 발생한 공극을 밀봉하게 되는 것을 특징으로 하는 전기영동증착을 이용한 적층형 세라믹 소자의 공극 밀봉 방법
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제1항에 있어서,
상기 전기영동증착 후 1000도씨 이상에서 열처리하는 것을 특징으로 하는 전기영동증착을 이용한 적층형 세라믹 소자의 공극 밀봉 방법
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제1항에 있어서,
상기 세라믹분말(400)이 분산되어 있는 용매는 에탄올, 에탄올의 합성물 또는 그 수용액 중 하나인 것을 특징으로 하는 전기영동증착을 이용한 적층형 세라믹 소자의 공극 밀봉 방법
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제3항에 있어서,
상기 세라믹분말(400)은 적층체를 이루는 세라믹 테이프(100)와 동일한 성분인 것을 특징으로 하는 전기영동증착을 이용한 적층형 세라믹 소자의 공극 밀봉 방법
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세라믹 테이프(100)에 내부 전극막(200)을 형성한 적층체를 적층하여 구성되는 적층형 세라믹 소자의 공극을 밀봉하는 방법에 있어서,
세라믹분말(400)이 분산되어 있는 용매 내에서 적층 전의 적층체의 전극막(200)에 플러스 전원을 연결하고 용매 내에 위치하는 상대전극(300)에 마이너스 전원을 연결하여 전기영동증착에 의해 상기 세라믹분말(400)을 전극막(200) 측으로 이동시켜 전극막(200)과 세라믹 테이프(100)에 도포하여 필름형상의 평탄면을 형성하고, 상기 평탄면이 형성된 적층체를 적층하여 전극막(200)과 세라믹 테이프(100)의 높이 차에 의해 발생하는 공극을 방지하게 되는 것을 특징으로 하는 전기영동증착을 이용한 적층형 세라믹 소자의 공극 밀봉 방법
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제5항에 있어서,
평탄면을 형성한 후 건조시켜 용매를 제거하고 적층하게 되는 것을 특징으로 하는 전기영동증착을 이용한 적층형 세라믹 소자의 공극 밀봉 방법
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제5항에 있어서
적층체를 적층한 후 1000도씨 이상에서 열처리하게 되는 것을 특징으로 하는전기영동증착을 이용한 적층형 세라믹 소자의 공극 밀봉 방법
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제5항에 있어서,
상기 세라믹분말(400)이 분산되어 있는 용매는 에탄올, 에탄올의 합성물 또는 그 수용액 중 하나인 것을 특징으로 하는 전기영동증착을 이용한 적층형 세라믹 소자의 공극 밀봉 방법
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제7항에 있어서,
상기 세라믹분말(400)은 적층체를 이루는 세라믹 테이프(100)와 동일한 성분인 것을 특징으로 하는 전기영동증착을 이용한 적층형 세라믹 소자의 공극 밀봉 방법
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