요약 | 본 발명은 기판을 이송하는 틸트형 멀티 턴 릴투릴 이송장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 공급회전축, 드럼회전축 및 수거회전축이 각각 회전중심에 형성된 공급릴, 이송드럼 및 수거릴에 테이프 형상의 기판이 감겨 이송되는 릴투릴 이송장치에 있어서, 공급릴에서 이송드럼으로 기판이 이송되는 방향과, 이송드럼에서 수거릴로 기판이 이송되는 방향이 평행하도록, 상기 공급회전축 및 수거회전축이 상기 드럼회전축의 축방향에 대해 기울어지게 형성되거나, 상기 드럼회전축이 상기 공급회전축 및 수거회전축의 축방향에 대해 편향각도로 기울어지게 형성되는 것을 기술적 특징으로 하여, 이송되는 기판의 측면으로 전단응력이 생기는 것을 방지하고, 기판이 한쪽으로 쏠려 겹쳐지게 이송되어 기판이 변형되거나, 파손되는 것을 막을 수 있는 효과가 있다. 초전도, 각도, 드럼, 변형, 초전도 테이프 |
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Int. CL | B65H 59/00 (2006.01) H01L 21/00 (2006.01) B65H 23/18 (2006.01) B65H 23/00 (2006.01) |
CPC | B65H 16/02(2013.01) B65H 16/02(2013.01) B65H 16/02(2013.01) B65H 16/02(2013.01) B65H 16/02(2013.01) B65H 16/02(2013.01) B65H 16/02(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020080117515 (2008.11.25) |
출원인 | 한국전기연구원 |
등록번호/일자 | 10-1023231-0000 (2011.03.10) |
공개번호/일자 | 10-2010-0058925 (2010.06.04) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20110321) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2008.11.25) |
심사청구항수 | 6 |