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플라즈마를 이용한 저온 박막 증착 방법

  • 기술번호 : KST2015163334
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요약 본 발명은 박막 증착 방법에 관한 것으로서, 금속기판 상면에 박막 물질을 증착하기 위한 박막 증착 방법에 있어서, 박막 증착챔버 내부에 플라즈마를 생성시키고, 상기 금속기판에 (+)의 전압을 가하여 플라즈마 내의 전자가 금속기판을 향하도록 하여, 가속된 전자들이 금속기판 표면에 충돌하면서, 상기 금속기판의 온도를 가열시키는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 저온 박막 증착 방법을 기술적 요지로 한다. 이에 의해 박막 고유의 성장조건은 기판 표면에서 유지하면서, 동시에 증착시스템의 온도는 상대적으로 낮추어, 일반적으로 고온 증착시스템에서 증착되는 박막의 물성과 동일한 결과를 가지게 되며, 경제적이면서 효율적인 박막 증착이 가능한 이점이 있다.박막 증착 저온 플라즈마 릴투릴 LMO
Int. CL C23C 14/50 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/56 (2006.01)
CPC C23C 14/50(2013.01) C23C 14/50(2013.01) C23C 14/50(2013.01) C23C 14/50(2013.01) C23C 14/50(2013.01)
출원번호/일자 1020090091735 (2009.09.28)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자 10-1243284-0000 (2013.03.07)
공개번호/일자 10-2011-0034262 (2011.04.05) 문서열기
공고번호/일자 (20130313) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.09.28)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김호섭 대한민국 경상남도 김해시
2 오상수 대한민국 경상남도 김해시
3 하동우 대한민국 경상남도 창원시
4 하홍수 대한민국 경상남도 창원시 성산구
5 고락길 대한민국 경남 김해시 장유면
6 김태형 대한민국 대구광역시 북구
7 이남진 대한민국 경상남도 사천시 서포면 구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 디지에스 경기도 안산시 단원구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2009-0594709-96
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.17 수리 (Accepted) 4-1-2009-5220117-37
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.09.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.10.13 수리 (Accepted) 9-1-2010-0062262-78
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.11.08 수리 (Accepted) 4-1-2010-5207456-63
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.09.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0518989-97
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.11.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0897122-27
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.12.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0991437-87
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.12.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0991433-05
10 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2012.05.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0279846-16
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.07.16 수리 (Accepted) 1-1-2012-0566306-92
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.11.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0677201-13
13 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2012.12.10 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-1021226-89
14 등록결정서
Decision to Grant Registration
2013.01.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0009397-42
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.04 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006987-25
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
금속기판 상면에 박막 물질을 증착하기 위한 박막 증착 방법에 있어서,히터에 의해 금속기판을 가열함과 동시에, 박막 증착챔버 내부에 플라즈마를 생성시키고 상기 금속기판에 (+)의 전압을 가하여 플라즈마 내의 전자가 금속기판을 향하도록 하여 가속된 전자들이 금속기판 표면에 충돌하면서 상기 금속기판의 표면 온도를 상승시키되, 상기 금속기판은 상기 증착챔버 내부로 릴투릴(reel-to-reel) 방법으로 이송되고, 상기 릴투릴의 공급릴 또는 수거릴에 구리 (+) 전극선을 전기적으로 접촉시켜 전압을 가하되, 금속기판과 접촉되는 테두리 부분에만 전압이 가해지도록 하고 공급릴 또는 수거릴과 다른 장치와의 연결부분은 전기적으로 절연되도록 테프론으로 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 저온 박막 증착 방법
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제 1항에 있어서, 상기 금속기판은, 장선의 테이프 형상으로 하스텔로이(Hastelloy) 상층에 순차적으로 Al2O3, Y2O3, MgO로 이루어지며, 상기 하스텔로이에 (+)의 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 저온 박막 증착 방법
5 5
제 4항에 있어서, 상기 금속기판에 증착되는 물질은 LMO인 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 저온 박막 증착방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.