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회전측 영구자석(10)을 가지는 회전측 가동자(11)와 이송측 영구자석(12)을 가지는 이송측 가동자(13)의 상부에 각각 배치되며, 자성체인 코어(14a,14b)와 전류를 흘려주기 위한 코일(15a,15b)로 이루어져 있고, 상기 회전측 영구자석(10) 및 이송측 영구자석(12)과의 사이에 흡입력을 이용하여 회전측 가동자(11) 및 이송측 가동자(13)를 리프트 업 또는 다운시킬 수 있도록 전류를 제어하는 회전측 전자석 홀더(16) 및 이송측 전자석 홀더(17)를 포함하는 것을 특징으로 하는 노광장치의 전자석 홀더장치
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청구항 1에 있어서, 상기 회전측 전자석 홀더(16)와 이송측 전자석 홀더(17)의 각 코어(14a,14b)에는 영구자석이 내장되어 있는 것을 특징으로 하는 노광장치의 전자석 홀더장치
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청구항 1에 있어서, 상기 회전측 전자석 홀더(16)의 코어(14a)의 자극과 일치하도록 회전측 영구자석(10)의 극성이 배치되는 것을 특징으로 하는 노광장치의 전자석 홀더장치
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청구항 1 또는 청구항 3에 있어서, 상기 회전측 영구자석(10)은 원주방향으로 극성이 바뀌는 형태로 배치되는 것을 특징으로 하는 노광장치의 전자석 홀더장치
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청구항 1에 있어서, 상기 이송측 전자석 홀더(17)의 코어(14b)의 자극과 일치하도록 이송측 영구자석(12)의 극성이 배치되는 것을 특징으로 하는 노광장치의 전자석 홀더장치
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청구항 1 또는 청구항 5에 있어서, 상기 이송측 영구자석(12)은 축방향으로 극성이 바뀌는 형태로 배치되는 것을 특징으로 하는 노광장치의 전자석 홀더장치
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청구항 1에 있어서, 상기 회전측 전자석 홀더(16)와 이송측 전자석 홀더(17)는 코어(14a,14b)를 이송 스테이지에 연결하기 위한 브라켓(18a,18b)을 포함하는 것을 특징으로 하는 노광장치의 전자석 홀더장치
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원통금형을 지지하는 수단으로서, 회전측 영구자석(10)을 가지는 회전측 가동자(11) 및 이송측 영구자석(12)을 가지는 이송측 가동자(13);
상기 회전측 가동자(11)에 대향하며 가동자를 리프트 업 또는 다운시키는 회전측 전자석 홀더(16);
상기 이송측 가동자(13)에 대향하며 가동자를 업 또는 다운시키는 이송측 전자석 홀더(17);
상기 회전측 가동자(11)의 회전측 영구자석(10)에 대향하여 부상 및 회전하기 위해 자속을 발생시키는 회전측 고정자(19);
상기 이송측 가동자(13)의 이송측 영구자석(12)에 대향하여 부상 및 이송하기 위해 자속을 발생시키는 이송측 고정자(20);
원통금형에 빔을 조사하여 나노패턴을 노광하기 위한 광원;
을 포함하는 것을 특징으로 하는 노광장치
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